3 Silvaco TCAD框架，交互式工具的界面及基本操作.ppt

Page ? * 主要内容 第一部分 Silvaco TCAD框架 第二部分 DeckBuild 界面及主要操作 第三部分 Tonyplot 界面及主要操作 Page ? * 1 Silvaco TCAD框架 第一部分 Silvaco TCAD框架 第二部分 DeckBuild 界面及主要操作 第三部分 Tonyplot 界面及主要操作 1.1 Silvaco TCAD 框架 Process Simulation 3D-VICTORY PROCESS，VICTORY CE 2D-ATHENA，SSuprem4，MC Implant/Deposit/Etch，Elite，Optolith； 1D-ATHENA 1D，SSuprem3； Device Simulation 3D-VICTORY DEVICE，Device 3D，Giga3D，Luminous3D，Quantum3D，TFT3D，Magnetic3D，Thermal3D，MixedMode3D 2D-ATLAS，S-pisces，Blaze，MC Device，Giga，MixedMode，Quantum，Ferro，Magnetic，TFT，LED，Luminous，Laser，VCSEL，Organic Display，Organic Solar，Noise，Mercury； Interactive Tools DeckBuild，Maskviews，DevEdit，Tonyplot，Tonyplot3D； Virtual Wafer Fab Page ? * 1.2 Silvaco TCAD的主要交互工具 集成环境 DeckBuild 仿真控制 进行仿真语法输入和编辑； 仿真的实时输出； 各仿真器通过DeckBuild调用； 显示工具Tonyplot 显示器件结构 显示特性曲线 导出数据 Page ? * 1.3 Silvaco TCAD启动方式 快捷方式文件夹路径 X:\sedatools\shortcuts 或 启动所有程序S.EDA ToolsDeckBuild Page ? * Page ? * 2 DeckBuild界面及主要操作 第一部分 第二部分 Silvaco TCAD框架 第三部分 Tonyplot 界面及主要操作 DeckBuild 界面及主要操作 2.1 DeckBuild界面 Page ? * 仿真输入 实时输出 菜单栏 控制条 2.2.1 DeckBuild菜单栏——File 打开/保存输入文件，保存实时输出信息 Page ? * 输入程序的编辑，设置DeckBuild特性(保存历史文件、工作路径，默认仿真器、实时输出…) 2.2.2 DeckBuild菜单栏——Edit Page ? * 快速提取（材料厚度、结深、方块电阻…），显示当前结构，工艺优化 2.2.3 DeckBuild菜单栏——Command Page ? * 2.2.4 DeckBuild菜单栏——Execution 进度控制（运行、结束、暂停、设置“断点”、运行到“断点”暂停、初始化、退出、强制结束） Page ? * 导入示例 2.2.5 DeckBuild菜单栏——Help Page ? * 2.3 DeckBuild进度控制 Run（Ctrl + R）：从上致下执行到“断点”（即“Stop at line”的“line”）时结束； Stop（Shift + F5）：执行完当前行就停止； Next（F10）：运行完下一行就停止； Continue（F5）：在之前停止运行的行开始往下运行； Initialize：从仿真历史初始化； Kill（Ctrl + K）：强制立即结束； Line（Ctrl + L）：重置当前行为选择的行； Stop at line（Ctrl + B）：设置断点。 Page ? * 仿真控制 2.4 DeckBuild输入 仿真程序输入 Page ? * go athena line x loc=0 spac=0.1 line x loc=1 spac=0.1 line y loc=0 spac=0.02 line y loc=10 spac=0.2 init c.phos=2e13 oreit=111 two.d tonyplot 2.5 DeckBuild实时输出 程序运行时实时显示运行进度和结果 Page ? * Page ? * 3 Tonyplot界面及主要操作 第一部分 第二部分 DeckBuild 界面及主要操作 第三部分 Tonyplot 界面及主要操作 Silvaco TCAD框架 3 Tonyplot界面 显示结构和仿真曲线 Page ? * 3.1.1 Tonyplot－Plot