光学薄膜技术-01前言.ppt

光 学 薄 膜 技 术 《光学薄膜技术》，作者：卢进军、刘卫国，西北工业大学出版社。 《现代光学薄膜技术》，作者：唐晋发 、顾培夫，浙江大学出版社 薄膜的例子 薄膜的例子 主要内容 介绍薄膜光学的基本理论和器件设计的基本方法，又介绍了新设计方法、新器件设计、新工艺技术。全书共五章，第一章是薄膜光学特性计算基础，第二章介绍介质膜系及其应用，第三章介绍薄膜制造枝术，第四章重点介绍光学薄膜制造工艺，第五章介绍薄膜材料及其性质。 第一章 薄膜光学特性计算基础1.1 单一界面的反射率和透射率1.2 单层介质膜的反射率1.3 多层介质膜的反射率和透射率1.4 金属薄膜的光学特性1.5 光学零件的反射率和透射率 主要内容 第二章 介质膜系及其应用2.1 减反射膜2.2 高反射膜2.3 中性分束膜2.4 截止滤光片2.5 带通滤光片2.6 偏振分束膜2.7 消偏振膜系 第三章 薄膜制造技术3.1 光学真空镀膜机3.2 真空与物理汽相沉积3.3 真空获得与检测3.4 热蒸发3.5 溅射3.6 离子镀3.7 离子辅助镀 作业 查阅光学薄膜的应用 光 学 薄 膜 技 术——前言 filter 光 学 薄 膜 技 术——前言 多信道点对点WDM系统 WDM filter 工作原理 光 学 薄 膜 技 术——前言 JDS Uniphase等公司称之为Interleaver的示意图 100GHz的频率间隔通过两个分别频率间隔为目标间隔两倍的普通复用/解复用器的组合使用，一个专门配合偶数的频道数，一个专门配合奇数频道数。再配合一个可以将信号按奇偶分开的Interleaver，就可以实现50GHz的频率间隔。 光 学 薄 膜 技 术——前言 DWDM filter 主要技术指标 中心波长：1550nm;带宽0.4nm(100GHz) 温漂：1pm/0C=0.1nm/ 1000C 插入损耗：0.2dB 透过率约为95% 隔离度高 光 学 薄 膜 技 术——前言 DWDM filter 制作部分参数 层数大于100（Corning 3腔108层，100GHz) 镀膜机口径1.1m,有用面积小于100mm APS1104/DWDM;光控：OM3000 工件旋转速度3000转/分 光 学 薄 膜 技 术——前言 DWDM filter 制作关键技术的解决 例如：解决无温漂、基板测温、低损耗 基底材料、镀膜材料（k~-4,T~67%或1.87dB;k~-5,T~95%或0.2dB) 温度监控：热像仪、激光测温 工艺手段 德国Leybold ：APS源、电子枪 日本Optorun：电子枪+离子辅助 美国Ion-tech：离子束溅射 光 学 薄 膜 技 术——前言 本学期课程安排 光学薄膜的基础理论 分析光学薄膜的几种有效方法 几种典型膜系介绍 成膜机理及工艺简介 常用的薄膜材料特性 光 学 薄 膜 技 术——前言 第四章 光学薄膜制造工艺4.1 光学薄膜器件的质量要素4.2 影响膜层质量的工艺要素4.3 获得精确厚度的方法4.4 获得均匀膜层的方法 第五章 薄膜材料及其性质5.1 薄膜的微观结构与性质5.2 常用光学薄膜材料 光 学 薄 膜 技 术——前言 * * 光 学 薄 膜 技 术 光学薄膜是附着在光学零件表面的厚度薄而均匀的介质膜层。 光 学 薄 膜 技 术 参考书 光学薄膜技术，H.A.麦克劳德著，周九林、尹树百译，国防工业出版社1974 应用光学薄膜，唐晋发、郑权著，上海科学技术出版社，1984 玻璃镀膜， H.K.普尔克尔著，仲永安等译，科学出版社，1988 光学薄膜原理，林永昌、卢维强著，国防工业出版社1990 薄膜科学与技术手册，田民波、刘德令，机械工业出版社，1991 OPTICAL THIN FILMS USER HANDBOOK, JAMES D.RANCOUNT 光 学 薄 膜 技 术 光 学 薄 膜 技 术——基础理论 你所知道的关于薄膜 镀膜镜片 滤光片、反射镜 牛顿环 类金刚石膜 光 学 薄 膜 技 术 实现多层膜 例：金箔、饰品、太阳能电池，GaN，SiC，Diamond 光 学 薄 膜 技 术 光 学 薄 膜 技 术 薄膜的例子 红外滤光片、超高反射膜、超低吸收及散射CO2激光膜、高损伤阈值激光膜及紫外膜 光 学 薄 膜 技 术——前言 光学薄膜的发展历史 人类最早发现的五光十色的肥皂泡，水面上彩色斑烂的油膜，两玻璃片间的空气层中常呈现出色彩鲜艳的光环，所有这些现象早在十七世纪就引起了许多自然科学家的注意，他们各自都提出了一些初步解释，但均不令人满意 ，直到一百五十年以后，即1801年托