日本专利--离子溅射.doc

2002-88467 （書誌＋要約＋請求の範囲） -------------------------------------------------------------------------------- (19)【発行国】日本国特許庁（ＪＰ） (12)【公報種別】公開特許公報（Ａ） (11)【公開番号】特開２００２－８８４６７（Ｐ２００２－８８４６７Ａ） (43)【公開日】平成１４年３月２７日（２００２．３．２７） (54)【発明の名称】乾式表面処理用装置およびこの装置を用いた乾式表面処理方法 (51)【国際特許分類第７版】 C23C 14/24 B24C 1/00 3/28 H01F 41/02 【ＦＩ】 C23C 14/24 J B24C 1/00 Z 3/28 H01F 41/02 G 【審査請求】未請求 【請求項の数】２６ 【出願形態】ＯＬ 【全頁数】１６ (21)【出願番号】特願２００１－１９９７５０（Ｐ２００１－１９９７５０） (22)【出願日】平成１３年６月２９日（２００１．６．２９） (31)【優先権主張番号】特願２０００－２１３４２７（Ｐ２０００－２１３４２７） (32)【優先日】平成１２年７月１３日（２０００．７．１３） (33)【優先権主張国】日本（ＪＰ） (71)【出願人】 【識別番号】０００１８３４１７ 【氏名又は名称】住友特殊金属株式会社 【住所又は居所】大阪府大阪市中央区北浜４丁目７番１９号 (72)【発明者】 【氏名】西内 武司 【住所又は居所】大阪府三島郡島本町江川２丁目１５番１７号 住友特殊金属株式会社山崎製作所内 (72)【発明者】 【氏名】嶋本 育夫 【住所又は居所】兵庫県養父郡養父町大薮１０６２番地 近畿住特電子株式会社内 (72)【発明者】 【氏名】三角 信弘 【住所又は居所】兵庫県養父郡養父町大薮１０６２番地 近畿住特電子株式会社内 (72)【発明者】 【氏名】栃下 佳己 【住所又は居所】兵庫県養父郡養父町大薮１０６２番地 近畿住特電子株式会社内 (74)【代理人】 【識別番号】１０００８７７４５ 【弁理士】 【氏名又は名称】清水 善▲廣▼ （外２名） 【テーマコード（参考）】 4K0295E062 【Ｆターム（参考）】 4K029 AA04 BA03 CA01 CA03 DB03 JA02 5E062 CD04 CG07 -------------------------------------------------------------------------------- (57)【要約】 【課題】 特に、平板形状や弓形形状の希土類系永久磁石のような被処理物に対し、その両面に均一に処理を施すことができる乾式表面処理用装置を提供すること。 【解決手段】 処理室内に、表面処理材料供給部と、被処理物を収容するための多孔性周面を有する筒型バレルを備え、前記筒型バレルを横設して水平方向の回転軸線を中心に回転させながら被処理物の表面処理を行うための乾式表面処理装置であって、前記筒型バレルが、前記筒型バレルを回転させることで収容された被処理物が前記筒型バレルの内周面に沿って摺動することを停止させるための摺動停止部を有することを特徴とする。 -------------------------------------------------------------------------------- 【特許請求の範囲】 【請求項１】 処理室内に、表面処理材料供給部と、被処理物を収容するための多孔性周面を有する筒型バレルを備え、前記筒型バレルを横設して水平方向の回転軸線を中心に回転させながら被処理物の表面処理を行うための乾式表面処理装置であって、前記筒型バレルが、前記筒型バレルを回転させることで収容された被処理物が前記筒型バレルの内周面に沿って摺動することを停止させるための摺動停止部を有することを特徴とする装置。 【請求項２】 前記筒型バレルの回転軸線に対する垂直方向の断面形状を内角が３０°～１００°の角部を少なくとも１つ有する形状とし、前記角部を摺動停止部としたことを特徴とする請求項１記載の装置。 【請求項３】 前記筒型バレルの回転軸線に対する垂直方向の断面形状を内角が３０°～１００°の角部を少なくとも３つ有する多角形とし、前記角部を摺動停止部としたことを特徴