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电子束光罩专用正型阻剂-国家试验研究院
財團法人國家實驗研究院
國家奈米元件實驗室
電子束光罩專用正型阻劑
招標規範書
招標規範書目錄
說明
本規範適用於國家奈米元件實驗室電子束光罩製作系統（JEOL JBX-5D II）之
光罩正型阻劑採購。
產品名稱及數量
電子束光罩專用電子束微影製程正型阻劑：FEP-171,3mPa.s（或同等品）。
0.95 L/Bottle：1 Bottles。
產品規格
規格樣式 FEP-171（或同等品） Chemical name： Application： 阻劑厚度: 250nm 阻劑型式: 電子束放大型阻劑(CAR) 解析度 2um isoline曝光劑量小於10μC/cm2 保存期限 至少6個月
同等品者，需由廠商提供測試光阻50ml，並檢附相關製程測試報告，經本實驗室測試通過後，符合本實驗光阻製程條件需求，方可進行開標。
規範書釋疑聯絡人
投標廠商對本規範書有任何問題，請於招標釋疑期限內向本實驗室微影與光罩製隨貨需附上出貨，以利於辦理驗收作業。
招標案號：
頁 數：
購案編號：
3
本文件為財團法人國家實驗研究院國家奈米元件實驗室專有之財產，非由書面許可，不准透露或使用本文件，亦不准複製或轉變成任何其他形式使用。
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購案編號：
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