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* * 电容元件 非电量 电容量变化 1920~1925 电容传感器用于测量 70~80年代，应用广泛 集成电容传感器 §3.4.1 电容式传感器的原理和结构 一、基本工作原理 C —— 电容量，单位：F 法拉 —— 真空介电常数，8.85×10-12F/m —— 极板间介质的相对介电常数 A —— 极板的有效面积（m2） —— 两平行极板间的距离（m） 1、平板电容器 2、圆筒形电容器 二、变极距型电容传感器 极板上移： 1、基本特性 讨论： （1）略去一次项和高次项 灵敏度 结论：电容的变化量与位移成正比。 结论：1.电容的初始极距δ0越小，灵敏度越高，但极距 过小，电容容易被击穿。 2.存在非线性误差。 灵敏度 考虑一次项 相对非线性误差 结论：存在非线性误差比较大，仅适用于微小位移量的测量。 2、差动式变极距型电容传感器 动极板上移： 初始位置时， 提高一倍 减小 略去高次项： 注意( 补充内容) 1.一般变极距式电容传感器的电容起始值 在20~100PF之间。 2.变极距式电容传感器极板间的起始值距离在 25~200μm之间，最大位移量不应超过极距的 原始距离的1/10，故它适合微位移的测量。 二、变面积型电容传感器 中间极移动式变面积型 差动结构变面积型 板状线位移变面积型 角位移变面积型 筒状线位移变面积型 结构型式 1、板状线位移变面积型 线性 *
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