半导体业氟化钙污泥资源化途径探讨9.pdf

半導體業氟化鈣污泥資源化途徑探討 Research of Utilization of CaF2 Sludge from Semiconductor Manufacture 1 2 3 關家倫 鄭智和, ,林巖騫 1 2 3 Chia-Lun Kuan ,Chih-Ho Chen ,Yan-Chian Lin 1.工研院環安中心廢棄 物處理與資源化研究組副 程師 1.Associate Scientist., Center for Environment, Safety and Health Technology Development, Waste Recovery Dept., Industry Technology Research Institute 2.工研院環安中心廢棄 物處理與資源化研究組經理 2.Manager., Center for Environment, Safety and Health Technology Development,Waste Recovery Dept., Industry Technology Research Institute 3.中國鋼鐵股份有限公司研發處煉鋼 製程組副研究員 3.Associate Scientist , Research Development Dept., China Steel Corporation 摘要 半導體製程中使用大量的氫氟酸(HF) 等氟化學品 ，這些含氟廢水利用傳統化 學處理方式，以 CaO或 CaCl 進行混凝沉澱 ，形成氟化鈣污泥；或是以採流體 2 化床結晶方式，以矽砂為晶種，形成氟化鈣晶體。 由於氟化鈣污泥中 主要成 分為矽及氟化鈣 ，天然的氟化鈣螢石- 是應用廣 的 業原料也是氟化學品的主要原料 。因此 氟化鈣污泥的資源化方式， 也 以螢石 相關用途為出發點 。 目前氟化鈣污泥資源化 方式可 分為三種 ，分別 為作為水泥替代原料 、替代 螢石作為煉鋼製程造渣劑及製成各類氟製品等做法 雖。 然氟化鈣污泥有這些資源 化途徑 ，但各類用途都有其進料品質要 求。因此 氟化鈣污泥， 必須配合各類資源 途徑進行前處理，而這些前處理程序都需要解決二次 污染的問題 ，這也是影響到 資源化經 濟效益的最重要因素 。因此 ，若 以整個宏觀的觀點來看 ，必須要 將廢水 處理流程與後續污泥處理方式共同思考，才可以使得氟化鈣污泥能順利資源化。 Abstract Hydrofluoric acid has been commonly used in the semiconductor industries for wafer ething and tool cleaning. Those processes use large amount of HF and hydrofluorosilicic (FSA) acids. Traditional treatment method of F-containing wastewater is to convert HF into calcium fluoride (CaF ) by using CaO or CaCl .