分子泵简介及应用.pdf

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分子泵起源 • 分子真空泵是在 1911 年由德国人盖德 (w · Gaede) 首先发明的,这种分子泵是在 分子流区域内靠高速运动的刚体表面传递 给气体分子以动量,使气体分子在刚体表 面的运动方向上产生定向流动,从而达到 抽气的目的。通常把用高速运动的刚体表 面携带气体分子,并使其按一定方向运动 的现象称为分子牵引现象。因此,人们将 盖德发明的分子泵称为牵引分子泵。 牵引分子泵的优点是起动时间短, 在分子流态下有很高的压缩比,能 抽除各种气体和蒸汽,特别适于

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