第7讲-纳米表面工程的基本问题及其进展教学教材.ppt

纳米表面工程的 基本问题及其进展 Fundament and Progress of Nano-surface Technology ;纳米表面工程产生的背景; 表面工程是将材料的表面与基体一起作为一个系统进行设计，利用各种表面技术，使材料的表面获得材料本身没有而又希望具有的性能的系统工程。;薄膜技术;功能薄膜材料研究室 ;二、 纳米表面工程的内涵和特点 ; 纳米表面工程是通过特定的加工技术赋予材料以纳米表面、使表面纳米结构化，从而使材料的表面得以强化、改性或赋予表面新功能的系统工程。产生机敏表面、纳米智能表面和表面纳米器件。 （潜艇蒙皮、坦克外壳） 与传统的表面工程相比，其特点是：取决于基体性能的因素被弱化，表面处理、改性和功能化的自由度扩大，表面加工技术的作用更加突出，产品的附加值更高。;三、 纳米表面工程的必威体育精装版进展 ;InGaAs-InAlAs多层膜有准三维向准二维转变中的线性吸收谱图。图中曲线上所标数字为InGaAs膜的厚度。;纳米固体薄膜制备技术 ; Films of 2D-n single layer ;DLC coated a magnetic thin-film disk; 纳米多层叠膜 ;YSZ (yttrium-stabilized ZrO2) bicrystal ZnO/YSZ/ZnO/YSZ/ZnO internal films.?V. Roddatis, Journal of Crystal Growth 220 (2000) 515-521.;HREM image of ZnO/YSZ interface along [1 -1 0] YSZ (a) and [0 0 1]YSZ (b). Moiré fringes are visible at the boundary between ZnO grains. Stacking faults are indicated with arrows. Doubling in YSZ lattice is shown with white arrowheads. A and B areas show normal and oxygen deficient ZnO, respectively. An intermediate layer is visible at the interface.;Schematic diagram of a new triode structure of FED with carbon nanotube emitters. Diamond and Related Materials 10 (2001) 1705.; 有序分子膜 ;3-2 纳米涂、镀层 ;液相分散喷雾合成法;原位生成喷雾合成法; 1-2. NC组装 ;1-3. 热喷涂直接组装NC ;2）电沉积法直接制备NC;UHV STM image of three C60 molecules chemisorbed at missing dimer defects on a Si(100)-2x1 surface. 10nm scan.;3-3 表面纳米化 ;1)表面机械加工处理法;2)非平衡热力学法;3-4 表面超微图形加工技术 ; 当前的光刻技术，采用193nm曝光波长，可实现大于100nm线宽的图形。 下一代光刻技术，*157nm曝光，小于50nm线宽图形。 再下一代光刻技术，**126nm曝光。;0;A field-assisted local anodization technique using an atomic force microscope (AFM), a single-hole transistor has been fabricated on an undoped hydrogen-terminated diamond surface where p-type conduction occurs on the subsurface region.;3-5 超光滑表面 ;宏观、介观及微观一体化研究 ; 晶 体 周 期 性 结 构 ;Properties; The broad field of materials science and engineering seeks to explain and control one or more of the four basic elements: The structure and composition of a material, including the type o