《集成电路制造工艺员》（三级）培训计划.PDF

上海市职业技能鉴定中心版权所有 《集成电路制造工艺员》（三级）培训计划 一、编制说明 本培训计划依据《集成电路制造工艺员》标准编制，适用于集成电路制造工 艺员 （三级）职业技能培训。 各培训机构可根据本培训计划及培训实际情况，在不少于总课时的前提下编 写具体实施的计划大纲和课程安排表。同时，还应根据具体情况布置一定的课外 作业时间和课外实训练习时间。推荐教材仅供参考，各培训机构可根据培训实际 情况选择。 二、培训目标 通过本级别专业理论知识学习和操作技能训练，培训对象能够初步掌握从原 材料硅片的准备到已完成晶圆测试的集成电路制造工艺的各个阶段，能按工艺文 件要求设置工艺条件、工艺参数，并能规范操作相关工序设备、仪器以及进行常 见故障排除，结业后能够综合运用所学的专业知识，从事集成电路制造工艺的工 作。 三、培训建议课时 本职业等级的建议培训课时：216 课时。各培训机构可以在不低于建议课时 的前提下，根据培训对象的实际做适当的调整。 四、培训要求与培训内容 模块1 集成电路制造基础专业英语 1、培训要求： 通过本模块技术培训，使培训对象能够 （1）初步掌握集成电路制造各工序中常见的英文单词与短语 第1 页/共4 页 上海市职业技能鉴定中心版权所有 （2）正确翻译仪器与设备名称，并能根据英文指令进行仪器设备的正确操 作 （3）读懂单一工艺流程报告 2、培训主要内容： （1） 理论教学内容 1 专业英语文章泛读 1.1 现代CMOS 工艺技术文章 1.1.1 泛读 1.1.2 专业词汇讲解 1.2 集成电路制造工艺文章 1.2.1 泛读 1.2.2 专业词汇讲解 1.2.3 语法解释与翻译 1.3 翻译 1.3.1 翻译集成电路制造中使用的仪器与设备名称 1.3.2 根据英文指令进行仪器设备的操作 （2） 技能实训内容 2.1 理解集成电路制造中使用的仪器与设备使用说明 2.2 阅读单一工艺流程报告 3、培训方式建议 （1） 理论教学：除一般常规课堂教学方式外，部分培训内容可利用多媒体 教学工具，以及实物概貌的演示,达到形象化教学目的。 （2）技能实训：本模块建议可开展理解集成电路制造中使用的仪器与设备 使用说明，阅读工艺报告的实训项目，一名实训老师可以带教10 名学员。 模块2 集成电路制造工艺基础 第2 页/共4 页 上海市职业技能鉴定中心版权所有 1、培训要求： 通过本模块技术培训，使培训对象能够 （1）熟悉硅材料以及集成电路制造工艺的典型流程 （2）熟悉集成电路制造各工序基本原理 （3）熟悉与集成电路制造工艺相关的仪器设备原理及参数设置 2、培训主要内容： （1） 理论教学内容 1.1 硅材料及硅元器件 1.2 集成电路制造典型工艺 1.3 集成电路制造工艺用化学品的基本特性和安全使用 1.4 集成电路制造工艺中常用仪器设备 3、培训方式建议 （1） 理论教学：除一般常规课堂教学方式外，部分培训内容可利用多媒体 教学工具，达到形象化教学目的。 模块3 集成电路制造关键工序技能训练 1、培训要求： 通过本模块技术培训，使培训对象能够 （1）熟悉集成电路制造典型工艺流程 （2）能够独立规范操作设置集成电路制造工艺用到的仪器设备 （3）能够排除集成电路制造工艺过程中的常见故障 2、培训主要内容： （1） 理论教学内容 1.1 集成电路制造工艺入门 1.2 光刻工序 1.3 氧化工序 第3 页/共4 页