半导体工艺讲义Lec_01.pdf

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EE143 General Information Instructor : Prof. Nathan Cheung , Cory 513, 642-1615 ,cheung@ Lecture Hours and Place: Tu Th, 11am-12:30pm, Barrow 126 Textbooks: 1) Required EE143 Reader and lecture notes 2) Required R.C. Jaeger Introduction To Microelectronics Fab

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