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洛阳晶辉新能源科技有限公司1、低温氢化技术方案“低温氢化”反应原理为:四氯化硅(SiCl4)、硅粉(Si)和氢气(H2)在500℃温度和1.5MPa 压力条件下,通过催化反应转化为三氯氢硅(SiHCl3)。化学反应式为:3SiCl4+Si+2H2=4SiHCl3行业“低温氢化”虽然比“热氢化”具有能耗低、设备运行可靠的优点,但是尚存一些不足:(1)实际转化率偏低——四氯化硅(SiCl4)实际转化率一般在18%左右;(2)催化剂稳定性差——导致催化剂寿命短、消耗量大、成本高;特别是催化剂载体铝离子容易造成“铝污染”;(3)设备复杂、系统能耗大——工作温度高,所以氢化炉需要内或外加热,设备复杂,系
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