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热蒸镀制程
薄膜沈积机制(Deposition Mechanism)
薄膜的成长是一连串复杂的过程所构成的。首先到达基板的原子
必须将纵向动量发散，原子才能『吸附』(adsorption)在基板上。这
些原子会在基板表面发生形成薄膜所须要的化学反应。所形成的薄膜
构成原子会在基板表面作扩散运动，这个现象称为吸附原子的『表面
迁徙』(surface migration)。当原子彼此相互碰撞时会结合而形成
原子团过程，称为『成核』(nucleation)。
原子团必须达到一定的大小之后，才能持续不断稳定成长。因此
小原子团会倾向彼此聚合以形成一
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