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EMMI和PEM显微镜原理介绍.pdf

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    微光显微镜原理介绍 Poton Emission Microscopy (PEM) EMission Microscope (EMMI) 整理自 www.fibman.idv.tw hfxin2001@126.com 重点和内容 PEM/EMMI 用于定位 IC 的问题区域，是既简单又便宜的定位方法 (但观察到的问题区域并非一定为错误区域,有可能看到的是果而非因) PEM/EMMI 基本原理是可侦测非常微小的光放射 对问题点的定位能力比 LC 强(

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