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4-薄膜製程與實務- 真空測漏.pdf

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    薄膜製程與實務 薄膜製程與實務 真空測漏技術 真空測漏技術 張銀祐 yinyu@mdu.edu.tw 2007/04 簡介 簡介 當一個腔體經由外在的幫浦抽氣，其真空度完 全視該幫浦的抽氣能力而定。 當腔體內部材料的溢氣量等於幫浦的抽氣量 時，則該腔體可以說是達到一個穩定

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