电涡流传感器在铝箔厚度测量中的应用.pdf

( ) 　2005年 第 24 卷 第 6期 　　　　　　　　　　传感器技术 Journal of Tran sducer Techno logy 77 电涡流传感器在铝箔厚度测量中的应用 李玉军 , 刘 　军 , 周军伟 , 张黎春 (西安理工大学 自动化与信息工程学院 ,陕西 西安 710048) 摘 　要 : 采用双频激励的低频透射式电涡流传感器在线测量铝箔厚度 , 同时 ,检测了铝箔表面温度 ,从而 实现了多参数检测 。为了减小传感器的非线性误差 ,消除铝箔厚度及其表面温度间的交叉敏感对其厚度 检测所带来的影响 ,采用免疫算法实现多参数数据拟合 。实测结果表明:这种数据拟合消除了铝箔表面温 μ μ 度对铝箔厚度测量的影响 ,提高了检测精度 ,测量范围达到 1～100 m ,分辨力达到 0. 0 1 m 。 关键词 : 电涡流传感器 ; 多参数检测 ; 数据拟合 中图分类号 : TP274　　　文献标识码 : A 　　　文章编号 : 1000 - 9787 (2005) 06 - 0077 - 02 Applica tion of eddy curren t sen sor in m ea sur ing th ickness of a lum inum L I Yujun , L IU Jun , ZHOU Junwei, ZHAN G L ichun ( D ept of A utoma tion an d Info, X i’an Un iversity of Techn ology, X i’an 710048, Ch ina) A b stract: Tran sm issive eddy current sen sor in sp ired by two sine signals w ith different frequencies is u sed to m easure the thickness of alum inum foil and the temp erature of the surface of alum inum foil on line. And mu lti p aram eter m easurem ent is realized. In order to reduce the nolinear error and cro sssen sitivity, immun ity algorithm is u sed to fu lfill mu ltip aram eter data fitting. M easurem ent resu lts show that th is k ind of data fitting m ethod elim inates the effect of the temp erature of the surface of alum inum foil on the m easurem ent of the th ickness of alum inum foil,