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第１章 引 言 1
１.１ 课题背景 1
１.２ 理论依据 3
１.３ 发展趋势及本课题所具有的理论意义和价值 3
１.４ 国内外的研究现状 5
第２章 位移传感器的横向比较 6
２.１ 电感式位移传感器 6
２.２ 电容式位移传感器 8
２.３ 电阻式位移传感器 10
２.３.１ 电阻应变式位移传感器 10
２.３.２ 电位器式位移传感器 11
２．４ 光电(CCD)位移传感器 12
２.４.１ CCD结构及工作原理 12
２.４.２ 光电位移传感器原理 14
第３章 激光位移传感器原理 16
３.１ 光学测量方法简介 16
３.２ ＰＳＤ工作特性分析 17
３.３
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