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Phase equilibrium phase Diagram
在半导体材料制备和器件制造的工艺过程
中，经常会遇到物质在不同相之间的平衡
和相转变的问题。例如．从熔体中生长单
晶体，就涉及物质由液态变成固态的相变。
而晶体生长时、杂质在晶体和熔体间的分
配，又跟杂质在固、液两相的平衡和偏离
情况有关。
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Phase equilibrium phase Diagram
由于半导体材料的性质对杂质
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