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超声扫描显微镜-三极管内部失效分析.pdf

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中国电子科技集团公司第四十五研究所 CHINAELECTRONICSTECHNOLOGYGROUPCORPORATION CHINAELECTRONICSTECHNOLOGYGROUPCORPORATION CCHHIINNAAEELLEECCTTRROONNIICCSSTTEECCHHNNOOLLOOGGYYGGRROOUUPPCCOORRPPOORRAATTIIOONN 样品及测试信息 样品名称 三极管 BTA208X 2 BTA208X 2 BBTTAA220088XX 22个 样品数量 BT139X 3 BT139X 3 BBTT113399XX 33个 检测要求 内部分层、裂纹、夹杂、气泡等缺陷情况 BTA208X BTA208X BBTTAA220088XX 器件照片 BT139X BT139X BBTT113399XX 设备生产商 中国电子科技集团公司第四十五研究所 测试地点 中国电子科技集团公司第四十五研究所检测工艺实验室 地址:北京经济技术开发区泰河三街1号 NO.20Taihe3rd Street,Beijing Economy Technology Development Zone,Beijing,China 邮编:100176 电话:010 传真:010 网址: 中国电子科技集团公司第四十五研究所 CHINAELECTRONICSTECHNOLOGYGROUPCORPORATION CHINAELECTRONICSTECHNOLOGYGROUPCORPORATION CCHHIINNAAEELLEECCTTRROONNIICCSSTTEECCHHNNOOLLOOGGYYGGRROOUUPPCCOORRPPOORRAATTIIOONN 15MHz 30MHz 说明:本次扫描换能器选用 和 A A AA扫描 是探头接收到的示波器显示,是将探头- 聚焦在器件上某一点所取的波形,它是 创建和解释图像的基础。 C C CC扫描 通过聚焦并收集一个样品上特定的一个平面- 上的信息创建出来的,是对样品截面的扫描。 BTA208X BTA208X 一、器件BBTTAA220088XX 点胶边缘 ,非缺陷 C 芯片上表面 扫描图像,无明显缺陷 伪彩色图像 数据门 正波形, 无缺陷 前表面门

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