- 1、本文档共12页,其中可免费阅读4页,需付费180金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
查看更多
三氯氢硅智能工艺设计及副产物四氯化硅利用
程惠亭
华陆工程科技有限责任公司
全国化工化学工程设计技术中心站
《化学工程》编辑部
三氯氢硅智能工艺设计及副产物四氯化硅利用1
1.四氯化硅应用 1
1.1 多晶硅生产自消耗1
1.2 其它应用途径 1
1.3 下游产品2
文档评论(0)