三氯氢硅智能工艺设计及副产物四氯化硅利用.pdf

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三氯氢硅智能工艺设计及副产物四氯化硅利用 程惠亭 华陆工程科技有限责任公司 全国化工化学工程设计技术中心站 《化学工程》编辑部 三氯氢硅智能工艺设计及副产物四氯化硅利用1 1.四氯化硅应用 1 1.1 多晶硅生产自消耗1 1.2 其它应用途径 1 1.3 下游产品2

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