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    Licensed by SEMI to GuangJie Qi Downloaded: 2011-02-28 Single-user license only, copying and networking prohibited. SEMI S1-1107 設備安全標籤安全基準 本安全基準是由全球環境、衛生與安全委員會核准。此版本在 2007 年 9 月5 日由全球稽 核與檢討次委員會認可及發行。並在 2007 年 10 月於 發行線上版本，同年 11 月發行光碟版。本基準原始版本於 19

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