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基于介质上电润湿的数字微流控器件的模拟
第29 卷 第3 期 电 子 器 件 V ol. 29 No. 3
2006 年9 月 Chinese Journal Of Elect ron Dev ices Sep. 2006
Simulation of Digital Microfluidic Device Based on ElectrowettingonDielectric
YUE Ruif eng , ZEN G X uef eng , W U J iangang , K A N G M ing , L I UL itian
(I nstitute of M icr oelectr onics , Tsing ua University , B eij ing 100084, C ina)
Abstract:Based o n the f undament al t heory of EW O D and w ith the help of co mput atio nal f luid dynamics
CFD) sof tw are, CF DA CE+ , t he processes of t ransport ing, creat ing, div iding and m erg ing dro plet s of
w at er in t he dig ital m icrof luidic device w it h a t ypical Sandwich st ruct ur e are sim ulat ed successfully. T he
linear relat ion bet w een t he g ap heig ht and t he droplet m ovement speed is obtained. When t he g ap heig ht is
larger t han 200m, it beco mes much m ore dif f icult to split t he droplet. T he sim ulat ion result s ag ree quit e
w ell w ith the ex periment al f inding s.
Key words:electro w et t ingondielectr ic; digit al m icrof luidic device; sandw ich st ruct ure; simulat ion
EEACC:2575D
岳瑞峰, 曾雪锋, 吴建刚, 康 明, 刘理天
, 100084)
: , CF D- A CE+ ,
, ; ,
200 m ,
: ; ; ;
: 35 :A 2006
,
,
, CFD - A CE+ ,
,
,
,
1
[ 13] EW O D
, elect row et ting o n
dielect ric, EW O D) , 1 ,
, , 0 )
Y oung :
EW O D cos(0) = sol- gas - sol- liq ( 1)
gas- liq
:
: ; J C2003060)
: 1965- ) , , , M EM S , yuerf @ mail.
tsing hua. edu . cn .
第3 期 岳瑞 , 曾雪锋等: 基于介质上
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