电子论文 基于SigmaDelta技巧的差分电容检测电路设计.doc

本文由saiwei2080贡献 pdf文档可能在WAP端浏览体验不佳。建议您优先选择TXT，或下载源文件到本机查看。 总第 ４ ４卷 第 ５ ３期　 ０ ２ｏ ｏ７年 第 １ 期　 １ 电 测 与 仪 表　 Ｅｌ ｃ ｒ ｃ ｌＭ ｅ ｓ ｅ ｅ ｔ＆ Ｉ ｉ ｌ ｎｔ ｆｏ 　 ｅ ｔｉ ａ 　 ａ ｕｒ ｍ ｎ ￣ － ｎｅ ａ ｎ ｕ ｌ ＶＯ．４ Ｎｏ．０ 　 Ｉ 　 ５３ ４ ＮＯ ． ｏ ７ ｖ２ｏ　 基 于 Ｓｇ — ｅ ａ技 术的差分 电容检测 电路设计 木 ｉｍａ Ｄ ｌ ｔ 　 万 明亮 ， 卫 平 ， 晓 刚 ， 张 黄 陈文元　 （ 海 交通 大 学 微 纳科 学技 术研 究院 薄膜 与微 细加 工教 育部 重点 实验 室 微 米／ 米加 工　 上 纳 国防 实验 室 ． 上海 ２ ０ ３ ） ０ ０ ０　 摘要 ： 口电路 是悬 浮转子 微陀 螺研 制 中 的关 键技 术 之一 。本文对 静 电悬 浮转 子微 陀螺　 接 的差分 电容结 构 建立 其简 化数 学模 型 ，并 结合 Ｓｇ — ｅｔ 技 术 的优 点 提 出了一 种新 颖　 ｉ ｍａ Ｄ ｌ ａ 的闭环 检 测 电路 。 检测 电路能 够直接 输 出数 字信号 ， 该 系统稳 定性 好 ， 对陀 螺失效 具有 自 　 检特 性并 且 能够 有效 避免 陀 螺 的锁住 。与通 常 采用 的调 制解 调方 法 相 比 ， 检测 电路 大　 该 大节 省 了器件 ， 因此非 常适 用 于对 微 陀螺 原 型进 行测 试评 估 。对该 检 测 电路 的仿 真结 果　 表明， 其灵 敏度 为 ２ ／ 动态范 围约为 １ 。 Ｖ ｇ， ｇ　 关键 词 ：ｉ ａ Ｄ ｌ ； ＭＳ 静 电悬浮 ； 陀螺 ； Ｓｇ — ｅ ａ ＭＥ ； ｍ ｔ 微 闭环检 测　 中 图分 类 号 ：Ｍ９ ４２ Ｔ ３． 　 文献 标识 码 ：　 文 章编号 ：０ １ １ ９ （０ ７ １－ ０ ９ ０　 Ｂ １０ — ３ ０ ２ ０ ） １ ０ ５ — ３ Ｄｉ ｅ ｅ ｔ ｌｃ ｐ ｃｔ ｎ ｅ ｄ ｔ ｃ ｉ ｎ ｃ ｒ ｕ ｔｄ ｓｇ 　 ａ ｅ 　 ｎ ｔ ｅ ｆ ｒ ｎ ｉ 　 ａ ａ ｉ ｃ 　 ｅ ｅ ｔｏ 　 ｉ ｃ ｉ　 ｅ ｉｎ ｂ ｓ ｄ ｏ 　ｈ 　 ａ ａ ｓｇ ａ ｄ ｌ 　ｅ ｈ ｏ ｏ ｙ ｉｍ － ｅｔ ｔ ｃ ｎ ｌ ｇ 　 ａ Ｗ ＡＮ Ｍｉ ｇ ｌ ｎ ， ＨＡＮＧ　 ｅ — ｉ ｇ ＨＵ 　 ｎ —ｉ ｇ Ｚ ａ Ｗ ｉ ｐｎ ， ＡＮＧ　 ａ — ａ ｇ Ｃ Ｘｉｏ ｇ ｎ ， ＨＥ Ｗ ｅ — ｕ ｎ Ｎ　 ｎ ｙ ａ 　 （ ｅ　 ａ 　ｆ ｈｎＦｌ 　ｎ 　 ｃｏＦ ｂｉａ ｏ 　ｅ ｈ Ｏｏｙ Ｋ ｙＬ ｂｏ　ｔｔ Ｄ ｆｎｅＭｉ ｏ Ｎ ｎ　 ａ ｒ ａｉｎ Ｋ ｙＬ ｂｏ　 ｉ　ｉ ａ ｄＭｉ 　 ａ ｒ ｔ ｎＴ ｃ ｎ ｌｇ， ｅ　 ａ　ｆ ａ 　 ｅ ｓ　 ｃ — ａ ｏＦ ｂｉ ｔ ， Ｔ ｍ ｒ ｃｉ Ｓ ｅ ｅ ｒ ｃ ｏ　 Ｒ ｓａｃ　ｎｔｕｅｏ　 ｃｏ Ｎ ｎ 　ｅ ｈ ｏｏ ， ｈ ｎ ｈ ｉ ｉ ｔ ｇＵ ｉ ｒ ｔ Ｓ ａ ｇａ　０ ０ ０Ｃ ｉａ　 ｅｅｒｈＩｓ ｔｔ ｆ ｒ— ａｏＴ ｃ ｎ ｌ ｉ 　 Ｍｉ ｙ ｇ Ｓ ａ ｇａ Ｊ ｏｏ 　 ｎｖ ｓ ｙ ｈｎ ｈ ｉ ０ ３ ，ｈｎ ） 　ａ ｎ ｅ ｉ， ２ Ａｂ ｔ ａ ｔ Ｔ ｅ ｉ ｔｒ ｃ 　 ｉｃ ｉ ｉ ｏ ｅ ｏ 　ｈ 　 ｅ 　ｅ ｈ ｏ ｏ 　 ｎ ｔ ｅ ｄ ｓｇ 　 ｆ ｅｅ ｔｏ ｔｔ ａ ｌ　 ｓｒ ｃ ： 　ｎ ｅｆ ｅ ｃ ｒ ｕ ｔ ｓ ｎ 　 ｆｔ ｅ ｋ ｙ ｔｃ ｎ ｌｇ ｉ　 ｈ 　 ｅ ｉｎ ｏ 　 ｌ ｃｒ ｓ ｉｌ ｙ ｈ ａ 　 　 ｙ ａ ｃ ｓ ｓ ｅ ｄ ｄ ｇ ｒ ｓ ｏ ｅ ． 　ｈ ｓｐ ｐ ｒａ ｓｍｐ ｉ ｅ 　 ｔ ｅ ｔ 　 ｄ ｌ ｏ 　ｈ 　 ｉ ｅ ｅ ｔ ｌ ａ ａ ｉ ｕ ｐ ｎ ｅ 　 ｏ ｃ ｐ Ｉ ｔ ｉ ａ ｅ 　 　 ｉ ｌ ｄ ｍａ ｈ ｍａ ｉ ｍｏ ｅ　 ｒｔ ｅ ｄ ｆ ｒ ｎ ｉ 　 ｐ ｃ— ｙ ｎ 　 ｉ ｆ ｃ ｆ ｆ ａ ｃ 　 ｔ ｅ ｓｒ ｃｕ ｅ ｏ 　 ｅ ｅｅ ｔ ｓａｉ ａｌ 　 ｕ ｐ ｎ ｅ 　 ｒ ｓ ｏ ｅ ｉ　 ｒ ｓ ｎ ｅ ， ｎ 　 ｏ ｉ ｅ 　ｈ 　 ｄ 　 ｉ 　 ｔ ｔｒ 　 ｆ ｈ 　 ｌ ｃ ｒ ｔｔ ｌ ｙ ｓ ｓ ｅ ｄ ｄ ｇ ｏ ｃ