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chvacuum镀膜设备真空系统主泵的配置
本文档由真空技术网提供下载，仅供行业内学习交流使用，请勿作商业用途和非法传播. 47, No. 1
第47 卷第1 期 真 空 VACUUM Vol.
2010 年1 月 Jan. 2010
镀膜设备真空系统主泵的配置
陈素君, 杨 静
(北京北仪创新真空技术有限责任公司, 北京 100022)
摘 要：真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分，其主泵的选择对真空性能影响很大，真空镀膜设备
的发展要求真空性能清洁无油，动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求, 本文叙述了
油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空
系统主泵的镀膜设备情况.
关键词:真空镀膜设备;真空系统;主泵;油扩散泵;分子泵;低温泵
中图分类号：TB752 文献标识码：B 文章编号：1002-0322 （2010）01-0007-04
Configuration of main pump(s) in vacuum system for coating installation
CHEN Su-jun, YANG Jing
（Beijing BeiYi Innovation Vacuum Technology Co., LTD, Beijing 102600, China）
Abstract: Main pump (s) is an integral part of the vacuum system in a vacuum coating installation, and its selection affects
greatly the vacuum performance. The development of vacuum coating technology requires such a performance which shall provide clean
and oil-free main pump(s) with high dynamic pumping speed, but the conventional main pump(s) which is usually an oil diffusion
pump cannot meet the requirement. Describes the traits of oil diffusion pump, molecular pump and cryopump especially the
vacuum coating installation developed by BEIYI, where the molecular pump and cryopump are taken as the main pumps in
vacuum system .
Key words: vacuum coating installation; vacuum system; main pump; molecular pump; cryopump
真空系统是真空镀膜设备不可缺少的重要 率,但不能根除。仍会有一部分油蒸气返流,而且
组成部分。常用的高真空系统结构形式, 一般由 也降低了泵的抽气速率。此外油扩散泵使用时能
主泵及前级泵串联, 加上阀门、管道及真空测量 耗大,运行费用高。启动慢,停泵时间长,特别是大
仪表组成. 按所选的主泵不同分为有油真空系统
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