薄膜物理与技术精品课件（史鹏）CH2-5 csd.pptVIP

* * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * * 2.5.3 溶胶-凝胶镀膜技术 2.5.3 溶胶-凝胶镀膜技术 Polycrystal Polymer assisted deposition (PAD) is a chemical solution route to high quality thin films of metal oxides. This technique employs metal ions coordinated to polymers as the film precursor. The use of polymer bound metals has several advantages. The polymer controls the viscosity and binds metal ions, resulting in a homogeneous distribution of metal precursors in the solution and the formation of uniform metal oxide films. The nature of the metal oxide deposition is dominated by bottom-up growth, leading to ready formation of crack-free epitaxial metal oxides and the ability to coat nanofeatured substrates in a conformal fashion. A novel method to get the epitaxial thin films by CSD approach 主要内容 2.5.1 化学反应镀膜技术 2.5.2 溶胶-凝胶镀膜技术 2.5.3 电化学镀膜技术 2.5.4 LB镀膜技术 Langmuir-Blodgett技术（LB技术）是指把液体表面的有机单分子膜转移到固体衬底表面上的一种成膜技术。得到的有机薄膜称为LB薄膜。 基本原理类似与表面活性剂。其分子具有两性基。 亲水基：羧基（-COOH），醇基（-OH）等； 不亲水基：CH3等； 2.5.4 Langmuir-Blodgett技术 CH3 CH2 C O OH 亲水基 亲油基 水 单分子层的转移 根据薄膜分子在基片上的相对取向，LB薄膜可分为X型、Y型、Z型三种类型。 LB薄膜每层分子的亲油基指向基片表面 2.5.4 Langmuir-Blodgett技术 LB薄膜每层分子的亲水基指向基片表面 2.5.4 Langmuir-Blodgett技术 LB薄膜每层分子的亲水基与亲水基相连，亲油基与亲油基相连 2.5.4 Langmuir-Blodgett技术 制膜技术和装置 水槽 刮膜板 表面压传感器 提膜装置 2.5.4 Langmuir-Blodgett技术 LB薄膜的特点 优点： LB薄膜中分子有序定向排列，这是一个重要特点； 很多材料都可以用LB技术成膜， LB膜有单分子层组成，它的厚度取决于分子大小和分子的层数； 通过严格控制条件，可以得到均匀、致密和缺陷密度很低的LB薄膜； 设备简单，操作方便。 缺点： 成膜效率低， LB薄膜均为有机薄膜，包含了有机材料的弱点； LB薄膜厚度很薄，在薄膜表征手段方面难度较大。 2.5.4 Langmuir-Blodgett技术 LB薄膜的应用 LB技术可以把一些具有特定功能的有机分子或生物分子有序定向排列，使之形成某一特殊功能的超薄膜，如有机绝缘薄膜、非线性光学薄膜、光电薄膜、有机导电薄膜等。它们有可能在微电子学、集成光学、分子电子学、微刻蚀技术以及生物技术中得到广泛应用。 LB薄膜电子束敏感抗蚀层有可能成为超高分辨率微细加工技术的一个发展方向。 有机非线性光学材料具有非线性极化效率高，不易被激光损伤，制备方便等特点，LB技术为有机非线性材料应用提供了重要途径。 2.5.4 Langmuir-Blodgett技术 什么是化学镀？它与化学沉积镀膜的区别？ 自催化镀膜的特点？ Sol-Gel镀膜技术的特点和主要 过程？ 阳极氧化镀膜和电镀的原理和特点？ 什么是LB技术？LB薄膜的种类？LB薄膜的特点？ * * * * * * * * * * * * * * * * * * 2.5.2 化学反应镀膜技术 化