JEM2100F 操作说明书 JEM2100F Manual.pdf

JEM-2100F/2200FS 操作说明 制作：北京东方捷欧技术服务站 马宁 一，开机（此步只能由实验室管理员操作）。 1. 合上配电柜中电镜主机的单相电源，同时合上循环水的三相电源。 2. 合上主机的稳压电源开关。 3. 合上主机电源柜上的电源开关。 4. 确认电子枪的模式转换器在 COND 模式（见图一）。 （图一） 5. 按压主机控制台上的 I 键 2 、3 秒钟后松开，RP 开始动作，主机启动。 6. 打开 TEM 控制 PC ，首先等待 PC 显示器右下角的图标由未建立通讯状态 转变为已建立通讯状态 ，这通常要等 待 5 分钟，再等操作控制台上按键指示灯变亮后双击桌面上的 打开 TEM 控制软件，确认 Status Monitor-System 中各项显示都为Running 状态（如图二）。 （图二） 未建立通讯状态（图三）：如果发生这种情况，关闭软件确认通信建立后再打开。如果 还不行，关闭计算机，然后再 VME RESET ，等 1 分钟再将 PC 打开，通信建立后打开 软件。 （图三） 7. 确认电源柜上的 60L，20LSIP真空档位选择器在X10-6Pa 的位置，并且指针基本上 是在左端基本到底的位置，如指针指示超过 0.5X10-6Pa,请立即通知服务中心。 （图四） 8. 确认真空符合要求后加高压（在 COND 模式，从 100KV 起加，参照长假期处理） 备注：如无法正常开机，请检查下列各项： 1，检查电源，包括电源柜中的主闸及电镜分开关是否正常，稳压电源是否在开启 状态，以及主机电源柜的空开是否在开启状态。 2 ，打开 Status Monitor-Alarm，察看是否有变红的报警提示(一般会自动弹出此报 警窗口，如图五) ，如有请与服务中心联系。 （图五） 3，打开 TEMCON 软件后弹出下列窗口（图六）是由于过早打开软件造成，关闭 软件后再次开启此问题就会解决 （图六） 二，插拔样品杆 1，放入样品杆前，如当时 EMSN 是 ON 的状态不要关掉灯丝（热场的灯丝一般总保 持在发射状态，所以无须关灯丝，这是与普通电镜的区别之处），同时更换不同的 样品杆要在计算机里选择相应的型号。 2 ，如果柱体是通过 SIP 抽的，请将 150L SIP 真空指示表放在 KV 档。 3，样品杆抽真空时，如绿灯很快就亮不要马上将样品杆插入，最好总的抽气时间不要 少于 5 分钟，但也不要超过 10 分钟（注：有时绿灯很长时间不亮，可能是由于工 作点漂移造成，并不是由于真空真的没有达到，此时需要电路上的调节，但电位的 漂移通常是一个渐变的过程），长时间的通过油扩散泵给样品杆抽气会对样品造成 污染，有条件的用户最好配备样品予抽室，不用的样品杆平时可放在里面长时间的 抽。 4 ，200KV 电镜ACD 是标准配置，强烈建议早上工作前先将液氮加好，这样有利于镜 筒的真空卫生，对灯丝寿命、样品污染以及离子泵的寿命都有好处。 5，样品杆刚插入 COL 时不要马上将V1 打开，因为在插入样品杆的过程中多少会有一 些泄露，即使插入后真空看上去很好，最好在插入后再等 1~2 分钟开 V1 阀。 6， 到真空度达到低于 4x10-5PA 时，打开V1 阀。（最好低于2x10-5PA ） 7，样品观察。 8，拔出样品杆