此台高精密镭射机是针对精密陶瓷片的0201切割（剥裂线）.pdf

Laser scriber LS-0201 規 格 書 LASER SCRIBER LS-0201 1.0 目的 0201 ( ) . 此台高精密鐳射機是針對精密陶瓷片的 切割剝裂線 所設計出來的 , 切割陶瓷主要是靠鐳射能量將某些特定的物質移除 移除物質的作用是藉 由快速高能量的聚焦同相位鐳射光來達成 2.0 應用 Scriber , AEROTEK 鐳射機提供高速度全自動化的切割它由一組雙軸 高精密 Linear Motor , 來達到高精度 穩定以及彈性的切割 2.1 optimum result 60 mm/sec ( , 30~50um ) 切割速度 因切割深度要求而定 此速度下可切 深度 30um~ 120um ( , 45mm 70um) 切割深度 依速度而定速度 時可達 正背面總體誤差: +/- 3 um (正常狀況下為 2 um ) 3.0 機器架構 3.1 雷射部分 : 40000 ( 5 ) 強點 雷射頭保固 小時 約 年 3.1.1 Yb Fiber IR 雷射頭 3.1.2 雷射電源供應器及同步控制系統 3.1.3 光隔離器 Isolator 3.1.4 雷射安全開關 3.2 光學部分 : 強點 自動調整雷射焦距功能 3.2.1 精密光學元件系統 3.2.2 五相微步進馬達驅動自動焦距變位系統 3.2.3 監視及顯像系統 3.3 定位機構部分 : XY Linear Table 強點 使用全世界最精密的 國際名牌 AEROTECH 的Table 3.3.1 XY 雙軸(X/Y) linear 系統 3.3.2 基板定位基座 3.3.3 基板自動供料及倉匣 3.3.4 排塵及風束機構 3.4 軟體及控制器 3.4.1 電腦控制系統 3.4.2 軟體部分 3.4.3 八軸控制介面 3.5 檢視系統 : , 1um, LED 強點 高精度放大視覺系統視覺判斷整體誤差 採 永久性照明 3.5.1 視覺辨識系統 3.5.2 照明 4.0 詳細規格 4.1 雷射部分 4.1.1 Yb Fiber IR 雷射頭 WAVELENGTH(nm) 1060~ 1070 / IR AVERAGE POWER(watt) 16~20 watt PULSE ENERGY( uj ) 1 mJ PULSE WIDTH