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目录 已完成图形转移板 已完成图形电镀板 4、Pattern Plating 工序生产线流程 上 板 除 油 微蚀 预浸 电镀铜 预浸 电镀锡 烘干 下板 褪蚀 3.1.1 除油3.1.1.3 除油的作用: 1. 使电镀层结合紧密 2. 避免带入污染走进后面的缸体. 3.1.2 微蚀(粗化) 3.1.2.2 目的: 1. 清除露铜面的氧化物 2. 粗化露铜面.3.1.2.3 作用: 使上下两层铜面结合紧密,避免甩铜. 3.1.4 酸铜电镀3.1.4.3 直接物料: 1. 硫酸铜(CuSO4) 2. 硫酸(H2SO4) 3. 阳极(铜球及钛篮) 4. 铜添加剂 5. 氯离子(Cl-) 铜阳极中含量应该是多少呢? A、含磷量高的影响: ? 黑色磷膜过厚,铜的溶解性差,添加剂消耗多,磷膜易脱落; ? 电阻增加,电压升高,有利H+放电,容易形成针孔。 B、含磷量适中(0.035%~0.070%): ? 黑色磷膜较适中,且结构紧密,结合牢,不易脱落; ? 阳极泥较少。C、含磷量太低(0.005%)时,虽有黑膜生成,但太薄,效果不理想。 3.1.4.3.4 铜光亮剂? 光泽剂过低的影响: 镀层不光亮,易出现烧板现象。? 光泽剂过高的影响: 深镀能力下降,产生Folding缺陷,表面变光亮。? 副产物的生产机理: RS-SR′(光剂)→ RSH+R′SH(副产物) 副产物具有更强的光剂特性,其在电镀过程中逐渐积累,产生较大的负面影响。 3.1.4.3.4 铜光亮剂? 光泽剂副产物过高的影响: 产生Folds缺陷,深镀能力下降,出现狗骨现象。 镀层表面变光亮,硬度增加,镀层变脆,可靠性下降。? 副产物的除去方法: 通过碳处理,先用H2O2将副产物氧化,再用活性碳将其吸附后过滤除去。 3.1.5 磺酸预浸 3.1.5.1 药水:磺酸 3.1.5.2 目的及作用: 使制板在磺酸溶液中预先浸润,为下一步电镀锡做好准备,同时避免带入水进去镀锡缸将其稀释。 3.1.6 电镀锡 3.1.6.1 电镀锡机理; 3.1.6.2 目的及作用: 在镀铜层上加镀一薄层锡(约 0.2~0.4mil),来作为下工序蚀刻时铜线路的保护层。 3.1.6.3直接物料:1.磺酸锡; 2.磺酸; 3.锡球阳极(钛篮); 4.锡光亮剂 . 注意:若用硫酸锡作为主盐,硫酸作为加强溶液的导电物质,则需要用锆篮作为阳极篮。 3.1.7 褪蚀 3.1.7.1 药水:硝酸 3.1.7.2 目的及作用: 将电镀夹具上在镀铜和镀锡时镀上的铜粉和锡粉咬蚀掉,使夹具洁净,以便在下一轮电镀循环时和制板接触良好。 3.2 机械部分 1. 天 车; 2. 电 脑; 3. 冷 水 机; 4. 自动加药泵; 5. 打 气; 6. 摇 摆; 7. 循 环 过 滤; 8. 振 荡 . 3.2.1天车(龙门式垂直电镀线) 1# 天车(0# ~ 10#) 2# 天车(5# ~ 16#) 3# 天车(11# ~ 29#) 3.2.2 电脑 1. 程序运行 ;
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