工艺控制与质量检测.pptVIP

§3 工艺控制和质量检测 一.工艺控制 二.质量检测 一.工艺控制 污染控制：颗粒、有机物、薄膜、金属离子 污染来源：操作者,清洗过程,高温处理,工具 参量控制：温度，时间，气体流量(影响最大?) 假片和试片 二.质量检测 1.扩散工艺质量检测项目 2. 结深测量 3.扩展电阻法 叙述其他策略 列出每项的优势和劣势 叙述每项所需的消耗 4. 方块电阻测量 三、质量分析 1．硅片表面不良：表面合金点；表面黑点或白雾；表面凸起物；表面氧化层颜色不一致；硅片表面滑移线或硅片弯曲；硅片表面划伤，边缘缺损，或硅片开裂等。 2．漏电电流大：表面沾污引起的表面漏电；氧化层的缺陷破坏了氧化层在杂质扩散时的掩蔽作用和氧化层在电路中的绝缘作用而导电；硅片的缺陷引起杂质扩散时产生管道击穿。 3．薄层电阻偏差。 4．器件特性异常：击穿电压异常；hFE异常；稳压二极管稳压值异常。 * * 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 1 1.温度控制：源温、硅片温度、升温降温、测温 2.时 间： 进舟出舟自动化, 试片 3.气体流量：流量稳定，可重复性，假片 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 2 假片 假片 假片 假片 正片 试片 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 3 1. 质检项目 2. 结深测量 3. 扩展电阻法 4. 方块电阻测量 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ [下载自管理资源吧] 4 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 5 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 6 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 7 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 8 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 9 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ 管理资源吧（），提供海量管理资料免费下载！ * *