CC-洁净室材料和元件释气有机化合物测定方法概要.docVIP

环境科学技术学会 Institute of Environmental Sciences and Technology 污染控制分会 推荐规范031.1 Contamination Control Division Recommended Practice 031.1 IEST-RP-CC031.1 洁净室材料和元件释气有机化合物测定方法 Method for Characterizing Outgassed Organic Compounds from Cleanroom Materials and Components 为推进技术和工程科学的发展，环境科学技术学会发布本推荐规范。本规范的使用完全出于自愿，使用者自己判定其是否适用于特定应用场合。 本推荐规范由IEST污染控制分会下属的031工作组编制并管理。 本推荐规范2003版本的版权归环境科学技术学会所有。 2003年4月第一次印刷。 改进建议：环境科学技术学会的各工作组不断地改进他们的推荐规范和参考文献。欢迎用户对所用文件提出意见。若对本文件有意见和建议，请利用互联网与我们联系，网址：/proposal/form.html。 蔡杰 译 孙扬 校 2006年12月 Institute of Environmental Science and Technology 5005 Newport Drive, Suite 506 Rolling Meadows, IL 60008-3841 电话：+1-847-255-1561 传真：+1-847-255-1699 邮箱：iest@ 网站： 洁净室材料和元件释气有机化合物测定方法 IEST-RP-CC031.1 目 录 1 范围与限制 3 2 引用文献 3 3 术语与定义 3 4 背景与目的 4 5 试验方法 7 6 报告 9 7 参考文献 10 环境科学技术学会（IEST） 污染控制分会 推荐规范031.1 洁净室材料和元件释气有机化合物测定方法 IEST-RP-CC031.1 范围与限制 范围 本推荐规范给出一种半定性试验方法，适用于检测洁净室与其他相关受控环境中材料和元件释放的有机化合物。本推荐规范对洁净室和其他受控环境中的材料与元件规定四种试验温度：50℃、75℃、100℃、150℃。本推荐规范可作为用户与供应商间对材料的技术要求、采购和确认的协议依据。 限制 本推荐规范介绍的方法只限于采用动态顶空进样-气相色谱-质谱联用仪（GC-MS）对材料的筛选。本方法不适用于绝对定量分析。了解被试材料成分的信息有助于选择适当的释气试验温度。 引用文献 本推荐规范无先例可循，因此没有相关文献可供引用。本推荐规范鼓励用户去调查采用其他建议规范的可能性。 术语与定义 分析样品 analytical sample 集成电路 integrated circuit 粘贴N-甲基-2-吡咯烷酮丁基甲基苯酚丁烯羟基甲苯磷酸三乙酯邻苯二甲酸丁苄酯邻苯二甲酸二异辛酯二甲基硅酮苯基甲基硅半导体清洗设备聚醚醚酮在释放系统中、被测样品在预定温度条件下加热30分钟，其预定温度可选50℃（122℉）、75℃（167℉）、100℃（212℉）、或150℃（302℉），其间用氦气吹扫样品（例如，流量50 mL/min～100 mL/min）。若采用其他温度，应在报告中注明具体温度。对常温工作的材料建议选用释气温度50℃（122℉）。高温场合应用的材料可选用较高释气温度。例如，暴露在高温的晶元传递箱可在100℃（212℉）条件下进行分析。也可采用中间温度75℃（167℉）或更高温度150℃（302℉）。选择的释气温度可能不同，客户与供应商应根据材料的规格、获取方式和确认条件，一开始就协议确定释气温度。 ℃（122℉）℃（1℉）℃（12℉）℃（2℉）℃[77℉]）℃（122℉）（必须） 热解析温度，如：50℃（122℉）、75℃（167℉）、100℃（212℉）、150℃（302℉）（必须） “Organic Outgassing from Cleanroom Materials Including HEPA/ULPA Filter Components: Standard Test Proposal.” In Proceedings of 43rd Annual Technical Meeting of the Institute of Environmental Sciences, Vol. 1, Contamination Control. Mount Prospect, Illinois: Institute of Environmental Sciences (and Technology) (IES[T]), 1997. IDEMA.