MEMS设计与工艺材料学科.pdf

2013/3/4 MEMS设计与工艺 主要内容 ——材料 基本知识 工程材料选用的技术经济原则 材料学基础 石云波 MEMS材料 硅材料 先进制造中心402，3557569（O） 其他材料 shiyunbo@ 1 工程材料选用的技术经济原则 一般机械零件失效形式 使用性能选材原则  断裂失效： 力学性能： 过度变形失效： 化学性能 物理性能 表面损伤失效：腐蚀失效、磨损失效 其它功能： 工艺性能选材原则 加工工艺性为主 经济性选材原则 成本效益分析 单位成本分析 材料价值分析 产品功能 使用性能要求的简单分类 改变功能 国外 确定令部件功能 引进 知识、经验 分类 典型性能 用途举例 专家系统 初步设计 加工/测试 设备 力学性能 强度 机械装置、承载结构零件、护罩等 确定所需材料性能（指标） 材 使用性能 韧性 料 工艺性能 研制 原 现有材料是否适用 新材料 刚性 始 经济性 性 化学性