材料学科分析与表征综述.pdf

材料的分析与表征 Materials Characterization 张政军 材料的分析与表征 Materials Characterization 这些玩意儿真的，假的？ 材料的分析与表征 Materials Characterization 材料形貌 材料成分 材料结构 化学状态 显微分析： 能谱分析： 衍射分析： 能谱等： 人眼、显微 EDAX、 XRD、SAD、XPS、AES 镜、SEM、 XPS、AES、 RHEED、 等等 AFM、TEM、 RBS、等等 LEED等等 STM等等 表面状态 AFM、STM、RHEED、LEED等 材料的分析与表征 Materials Characterization 一般常见的材料分析技术要得知材料的： 表面或者内部的显微结构图像（SEM、 TEM、AFM等）； 材料成份分析（EDS、ESCA、AES 、 SIMS、RBS等）； 材料结构分析（XRD、SAD （TEM ）、 LEED、RHEED等）； 材料的分析与表征 Materials Characterization 常见的材料分析仪器有： 光学显微镜(Optical Microscope, OM) 、扫描式电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM) 、X光能谱分析仪(X-ray Spectrometry) 、 透射式电子显微镜(Transmission Electron Microscope, TEM) 、聚焦式 离子束显微镜(Focused Ion beam, FIB) 、X光衍射分析仪(X-ray Diffractometer, XRD) 、俄歇电子能谱分析仪(Auger Electron Spectrometry, AES) 、二次离子质谱仪(Secondary ion Mass Spectrometry, SIMS) 、卢瑟福背散射质谱仪(Rutherford Backscattering Spectrometry, RBS) 、全反射式X-光荧光分析仪(Total Reflection X-ray Fluorescence, TXRF) 、扫描透射显微镜(Scanning Tunneling Microscope, STM) 、原子力显微镜(Atomic Force Microscope, AFM) 、反射式高能电子衍射（RHEED ）等十几种。 形貌分析手段 Morphology Observation SEM OM TEM 形貌 分析 FIB STEM 材料的分析与表征 Materials Characterization 结构分析手段 Structure Determination XRD Raman LEED 结构 分析 FTIR RHEED SAD 成分分析手段 Composition Analysis