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高阻测试指南
j 部门： 研发部 文献类别 技术文献
日期： 2012-06-10 编号： HP201
CHT3530采用加电压测电流的方法，电压输出1mV~1000V DC，源内阻100kΩ。
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电阻测量范围达 10Ω~10 Ω，电流测试范围2mA~1pA，可有效有小分辨至10fA。
测量功能还包括各种：表面绝缘电阻测试、绝缘材料和半导体的表面电阻率测量以
及体积电阻率测量等。
量程 有效分辨率 精度±（%+分辨率）温度系数 （ppm/℃）
2 mA 0.1uA 0.1+5 25
200 uA 10nA 0.1+5 25
20 uA 1nA 0.1+5 25
2 uA 0.1nA 0.1+10 50
200 nA 10pA 0.1 +10 50
20 nA 1pA 0.3+20 200
1 nA 0.01pA 5+20 200
量程 有 效 分 辨 精度±（%+分辨率） 温度系数 ppm/℃ 测 试
率 电压
10 kΩ 1 Ω 0.1+5 25 50 V
100 kΩ 10 Ω 0.1+5 25 50 V
1 MΩ 100 Ω 0.1+5 25 50 V
10 MΩ 1 kΩ 0.1+5 50 50 V
0.1GΩ 10 kΩ 0.1 +5 50 50 V
1 GΩ 100 kΩ 0.1+10 50 500 V
10 GΩ 1 MΩ 0.35+20 50 500 V
100GΩ 10 MΩ 0.35 +20 200 500 V
1TΩ 10 GΩ 2+100 200 1000 V
10TΩ 100
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