telemark880型晶控器用户手册.pdf

TELEMARK 880 型晶控器用户手册 （2003 年 6 月 7 日首版发行） （未经通知，TELEMARK 公司有权变更该手册中的任何内容） 2003 年版权 AMPHENOL 是 ALLIED 公司的一个注册商标 AMP 是 TYCO/AMP 股份有限公司的一个注册商标 CONFLAT 是 VARIAN ASSOCIATE 股份有限公司的一个注册商标 IBM 是 IMP 公司的一个注册商标 MICROSOFT 是 MICROSOFT 公司的一个注册商标 MICRODOT 是 MICRODOT 股份有限公司的一个注册商标 SWAGELOK 是 CRAWFORD FITTING 公司的一个注册商标 WINDOWS 是 MICROSOFT 公司的一个注册商标 1 880 型晶控器 保证条款： 兹保证：TELEMARK 产品是由良好材料和工艺精制而成，符合规范规定 要求，无任何加工弊端，质保期为 12 月。TELEMARK 从其它公司采购的 元器件，其保质期不会低于这些公司向 TELEMARK 公司所作的保证期限， 上述条款在按照TELEMARK 公司所供说明书进行正确操作的情况下有效， 但 TELEMARK 公司对安装和使用不当、误操作、人为事故、锈蚀不承担 任何质保责任，在该质保期间，TELEMARK 公司将免费进行维修，但运输 费用将有用户承担，TELEMARK 公司有权对最终质保条款内容进行调整。 用户责任： 用户要按照该手册及其附加内容之说明对该设备的正确操作和适当保养 负责，正确操作包括：按时更换磨损、破碎和所缺的零部件。如果用户对 装置的使用或安装有不理解的地方，应及时与 TELEMARK 公司联系。 用户按照本手册中“安装部分”之说明完成对装置的正确安装是极其重要 的，若因装置安装不当而造成的损坏，本公司所承诺的质保条款将无效。 任何擅自对装置进行设计修改和功能变更都不属于本公司质保条款的质 保范畴，一些后果均有用户承担。 安全警告： 常规防范措施：任何人接触真空系统内或真空系统附近的高压电路都会造 成致命伤，在打开真空室门或拆卸面板时一定要关闭电源，在连接晶控器 之前，一定要使所有的高压馈入装置与一个接地钩短接。 必威体育官网网址: 对资料必威体育官网网址可有助于TELEMARK 设备用户更好的完成对设备的操作和维 修，用户没有泄漏该资料之权力，未经 TELEMARK 公司的书面批准，严 禁复制该资料和生产该说明书中的设备。 2 第 1 章： 引言 开箱： 该 880 型晶控器带有电源导线和 RS-232 接口用的接头，同时还带有输入/输出接口和模拟输出接口 （请参见备件清单上规定的备件目录）。如果用户同时也订购了OSC-100A 型振荡器，那么这些元 器件也将随晶控器一起提供。该晶控器的操作电压范围为 90—264 VAC，不需进行转换。若因其它 一些原因需把晶控器返厂维修，首先应电话联系取得一个返厂材料授权号。 简介： 该晶控器可实现对高真空环境下单层镀膜或多层镀膜的自动化控制，同时，通过完成对蒸镀工艺 的数字化控制来实现蒸镀膜层的高度稳定性和可重复性。其还可完全实现自动控制运行并带有较宽 的性能极限选择和用户设定范围。 第 1．1 节： 手册说明 在工作系统上操作晶控器之前，请认真阅读并理解本手册之内容，该手册中有正确设定说明和设 定步骤例示以便让你能够知道该 880 型晶控器是怎样使用的。服务菜单中有一个测试模式，可用来 对系统进行模拟测试，我们可以运用该模式通过设置各种参数和程序来完成对晶体探头的模拟测 试，而不会在晶体失效时使该模拟的工艺中止，在该测试模式下，也可以对电源的控制电压进行模 拟测试。 该手册包括以下主要章节：规格、概述、菜单程序的确定与设置、硬件设置、主通讯接口详细说 明、微平衡理论与维护保养。如果需要更进一步的帮助，请直接与 TELEMARK 公司联系（请参见 第 1.6 节之内容）。 在“规格”这一章节中，主要阐述了 880 型晶控器的软/硬件规格以及有关的光学元器件规格，软 件包括可编程参数表。在“概述”这一章节中，主要阐述了怎样使用 880 以及 880 是怎样工作的这 样的