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激光衍射测量的技术_合肥工业大学.pptx

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第一节 激光衍射测量原理 第二节 激光衍射测量方法 第三节 激光衍射测量的应用 内容提示: 重点: 衍射及衍射现象在测量中的应用 学习方法: 衍射测量的思维与方法 ;第一节 激光衍射测量原理;第一节 激光衍射测量原理;一、 菲涅耳和夫琅和费衍射;一、 菲涅耳和夫琅和费衍射;二、单缝测量原理;二、单缝测量原理;2. 单缝测量的原理;2. 单缝测量的原理;3. 单缝测量的能力;3. 单缝测量的能力;测量量程;三 、圆孔衍射测量;三 、圆孔衍射测量;第二节 激光衍射测量方法;1、间隙测量法;1、间隙测量法;1、间隙测量法;2、反射衍射测量法;2、反射衍射测量法;2、反射衍射测量法;3、分离间隙法;3、分离间隙法;3、分离间隙法;4、互补测屏法;4、互补测屏法;5、爱里斑测量法;6、衍射频谱检测法;6、衍射频谱检测法;6、衍射频谱检测法;第三节 激光衍射测量的应用;二、涂层厚度/表面形状/位移测量;二、涂层厚度/表面形状/位移测量;二、涂层厚度/表面形状/位移测量;二、涂层厚度/表面形状/位移测量;三、振动测量;四、直径和薄带宽度测量;四、直径和薄带宽度测量CCD;四、直径和薄带宽度测量;四、直径和薄带宽度测量;四、直径和薄带宽度测量;五、生物医学应用;本章 注意事项;本章 注意事项;本章 注意事项

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