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作 业 1、SEM相对于TEM有哪些特点？ 2、SEM对样品有何要求？ 3、SEM经常用于研究断口的形貌观察，在断口的形貌观察中主要研究哪三个方面的内容？ 4、典型的断裂特征有哪几种？ ★ 电子探针X射线显微分析(EPMA,简称电子探针）是一种显微分析和成分分析相结合的微区分析。特别适用于分析试样中微小区域的化学成分，是研究材料组织结构和元素分布状态的极为有用的分析方法。 ★ EPMA与普通的化学分析方法不同，后者得到的是试样中的平均成分也叫宏观成分，分析结果与微观组织不存在对应关系。 EPMA的基本原理 ●用聚焦电子束照射试样表面感兴趣的微小区域,激发该区域中各元素的特征X射线,这些X射线具有不同的波长和能量。用X射线谱仪探测这些X射线，就得到了X射线谱。根据特征X射线的波长或能量进行元素的定性分析；根据其强度进行元素定量分析。 ●根据特征X射线波长色散来分析的仪器叫波长色散谱仪简称波谱仪（英文缩写为WDS）。 ●根据特征X射线能量色散来分析的仪器叫能量色散谱仪简称能谱仪（英文缩写为EDS）。 ▼利用EPMA可以方便的分析从4Be～92U之间的所有元素。 ▼EPMA的特点：分析手段大为简化，分析时间大为缩短，分析用样品量很少，是一种无损分析方法。 ▼EPMA的构造：与SEM大体相似，只是增加了接收记录X射线的谱仪。 * 毒 品 米 虫 感 光 胶 材料粉末 2..6 电子探针X射线显微分析 *
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