设备部周报.ppt

EE Weekly Report-W1724(06/11~06/17) Prepared by EE Jun. 16th .2017 W1724 Fab8 EE Weekly Report Highlight / lowlight NA Weekly Department KPI summary and review Y1-EIS 98.68%（Target 99.1%），DIFF漏晶点位异常导致漏晶，DIFF当站Impact 0.05%，ISO影响0.09%，CVD影响0.05%，PRT影响0.02%，DIFF 漏晶Total Impact 约 0.21% 本周重工较多，wafer厚度为160-170（正常200），各站点均影响，Hold Wafer重工Impact 约0.16% Project status update 60%设备拆装机进度——ISO03DIFF11 PE验机进行中 60%设备验收状况：Total 24 item,完成15项: 63%，进行中4项，待送件5项 ISO03验机状况：端午节后复机，目前待换酸后 PE对其测试 CVD设备附属设备——清洗机烤箱装机进度：5/25吊装定位完成，厂务预计6/18送电 设备异常处理SOP,新人训练资料,编排整理及列表，持续进行，网印所属设备完成55%，蚀刻完成100%，沉积完成100% 教育训练实施状况——针对设备发生的重大异常，会将异常报告在部门内倡导，并让同仁签名确认并放在现场供同仁随时参考学习。另外收集2/3厂历年工安事故，各组平行展开预防对策。 MFG Cost analysis 修缮维护费本周总费用37,306RMB（领用石墨舟1套，18,991RMB，厂务空调箱改造13,000RMB ），0.31C/W，On Target 人力状况 目前EE总人力20人（本周離職1位资深工程師） Plan to do EE AR处理进度 Back up Material FAC2鍾鎔華 Stage Tgt W1714 W1715 W1716 W1717 W1718 W1719 W1720 W1721 W1722 W1723 W1724 　 6/11 6/12 6/13 6/14 6/15 6/16 INSP 0.01 0.012 0.004 0.008 0.003 0.004 0.004 0.006 0.004 0.008 0.010 0.008 　 0.005 0.017 0.007 0.007 0.012 0.004 RENA 0.11 0.005 0.003 0.002 0.002 0.004 0.006 0.003 0.000 0.018 0.020 0.006 　 0.048 0.018 0.044 0.001 0.010 0.014 DIFF 0.03 0.032 0.054 0.044 0.055 0.030 0.043 0.071 0.201 0.134 0.197 0.173 　 0.214 0.178 0.240 0.191 0.118 0.107 ISO 0.11 0.148 0.207 0.169 0.137 0.141 0.122 0.149 0.271 0.112 0.406 0.272 　 0.366 0.254 0.428 0.206 0.207 0.188 CVD 0.23 0.251 0.351 0.298 0.196 0.186 0.155 0.162 0.190 0.278 0.288 0.277 　 0.246 0.360 0.315 0.352 0.223 0.202 PRT 0.13 0.406 0.226 0.183 0.148 0.191 0.192 0.153 0.210 0.220 0.190 0.240 　 0.274 0.205 0.221 0.227 0.253 0.274 FS 0.13 0.251 0.165 0.158 0.118 0.158 0.157 0.133 0.136 0.151 0.293 0.174 　 0.136 0.142 0.267 0.150 0.177 0.162 FVI(FS) 0.15 0.241 0.133 0.125 0.139 0.182 0.176 0.148 0.137 0.089 0.138 0.132 　 0.142 0.133 0.157 0.119 0.116 0.127 EIS 99.10 99.04 98.80 98.96 99.19 99.11 99.14 99.17 98.82 99.02 98.47 98.70 98.68 98.68 98.66 98.32 98.73 98.89 98.96 W1724 Y1 状况 EIS 98.68%，较上