激光衍射法测量细丝线径的研究.PDF

年 第 期 光 学 机 械 总第 期 光 法测量细丝 究 激 衍射 线径的研 李彦明 魏晓丽 高福华 吉 工业大学 用 光 细 的 。 适 线测 不 明 摘要 探讨了 激 衍射测量 线直径 方法 提出了一种 用于在 量 透 线直 的 法。 的 是 激 衍 图 距 的 细 径 新方 本方法 原理 基于取得 光 射 上两相邻暗点之间的 离 光 息 以 理。 用 了 、 , 以 、 。 信 并加 处 应 单片机等先进技术 取得准确 可靠及预定的测量 、 言 一 引 日 发展 对细丝线 进, 动态测量 求 迫 随着生产和科技的 益 径 行非接触高精度 的要 越 来 越 切。 下细 线 测量, 用 通 光 用 手 以往对直径 助 以 丝 径的 往往采 普 的 学量仪或 电子测微计等 。 , 量误差 , 不 线 量 光衍 法 一 度 量 法 段 其测 大 易实现在 测 而激 射 是 种高精 的非接触测 方 本 几 激 衍 收 段和 速 理 法 以 。 文对 种行之有效的 光 射图样的接 手 快 计算处 方 加 探讨 、 二 用细丝代替单缝的衍射原理 根据夫琅和 衍 理论和 理 当 光照, 上 如图, 示, 屏 费 射 互补定 激 射在狭缝 所 在接收 上形 衍 。 强 成 射条纹 衍射光 表达式为 “ 汀 卯 “ , 二 “ 尹 己