北化高分子研究方法--电镜--D5.pdfVIP

专题：扫描透射电子显微镜 SEM TEM STEM 光源 电子源 电子源 电子源 加速电压 0.5~35 kV 80~300 kV 0.5~35 kV （基于SEM） （常用） 80~300 kV （基于TEM） 成像方式 扫描成像 透镜成像 扫描成像 记录电子信号 二次电子、背散射电 透射电子、相干散 透射电子、散射电 子 射电子（电子衍射） 子、二次电子 衬度 形貌、成分（Z） 质厚、衍射、相位 质厚、成分（Z） 分辨率 ~1nm ~0.1nm ~1nm （基于SEM） ~0.1 nm （基于TEM） 制样 基本保持原始状态 分散、减薄 分散、减薄 分析功能 能谱（可mapping） 能谱、能量损失谱、 能谱、能量损失谱 能量过滤像（不可 （可mapping） mapping） 基于TEM的STEM STEM明场、暗场和能量损失谱 3 STEM的特点： ①没有透镜成像的色差问题，可观察 比较厚的试样； ②分辨率主要取决于会聚束尺寸，可 用会聚镜球差校正器实现亚埃级分辨率； ③可在高空间分辨率（原子尺度）下 实现分析功能 可以大的出射角接收透过电子并减小试 样损伤。 1.高角度环形暗场(HAADF)方法: High-Angle Annular Dark-Field  HAADF （高角环形暗场像）-- Z衬度像 Z衬度像是高分辨（原子级）的 质厚成像技术，代表了质厚衬 度的空间分辨率极限，可记录 从单个原子或原子柱散射出来 的电子。 SrTiO3的球差校正STEM-HAADF像 （左） 和ABF像 （右） 6 Al O grain boundary 2 3 7 STEM （明场）像 HAADF （暗场）像 2、STEM-EDS mapping： 在STEM的基础上，以与SEM类似的方式采 集特征X射线信号，形成元素面分布图。 特点：高空间分辨率、低定量精度 3、电子能量损失谱（EELS）： 在STEM的 基础上，加装 能量分析器， 对透过的电子 进行分光，可 获得能量损失 谱。 采用能量分析器对透过的电子进行分光， 可获得能量损失谱，以确定试样的化学组成 （特别是轻元素）及一些化合物的价态。 硅铝氧氮耐