扫描电镜操作手册.pdfVIP

Zeiss SEM 培训资料 SEM 操作手册 一、开机 在电镜基座的前面板上有绿（ON ）、黄（STANDBY ）、红（OFF ）三个按钮，见图一 图一 a 接通电源后，按红色按钮，电镜通电。 b 按黄钮，真空系统开始工作，整机处于待机状态。 c 约1 分钟后按绿钮，所有系统开始工作，同时电脑自动启动(或人工手动启动)，进入 系统。 d 双击SmartSEM 并登陆。 二、 放置样品 （1）从样品室放入样品 a 键盘点击Ctrl+G，打开扫描电镜控制窗口（SEM Control ）。该窗口包括六个控制版面 （如 图二）：电子枪（Gun ）、探测器（Detector）、光阑（Aperture ）、真空（Vacuum ）、样品台（Stage ）。 b 选中Vacuum 版面，点击Vent 对样品室通入氮气（Vent 前确保EHT 已经关掉）。 Zeiss SEM 培训资料 图二 c 等待几分钟后，样品室可以打开，放入样品 （如图三），样品台卡在燕尾槽中，确认样品 台卡紧了即可。 图三 （2 ）用Airlock 放置样品 图四 a 确认Stage 已经处于Exchange 位置：在Smart SEM 的菜单栏依次选择Stage→Store/Recal →$exchange 。 b 点击Airlock 面板上的Vent 按钮，卸掉交换室中的真空，将样品台卡在交换室的燕尾槽中， 用样品传输杆拧紧样品台。 c 点击Transfer 按钮（抽真空时手推紧一下舱门），抽真空后隔离舱门打开，样品传输杆伸 入样品仓内，将样品台卡在样品基座上的燕尾槽中，旋松螺丝后将样品传输杆拉出来。 d 点击Airlock 面板上的Store 按钮，关闭舱门。（注意：舱门关闭后Store 灯才停止跳动， 这段时间内舱门在向内平移，仍处于未闭合状态，不能泄真空） Zeiss SEM 培训资料 三、观察样品 （1） 移动样品台，调节样品和物镜之间的工作距离 a 如果已经勾选了Joystick disable ，在stage 中取消Joystick disable 选项。 PS: 在SmartSEM 5.06 中，增加了Stage Disabe 选项，此选项也需要取消勾选。且取消后， 右下角有个对话框弹出，必须点击OK 后才能进行其他操作！ b 通过 切换到CCD 观察模式。 Zeiss SEM 培训资料 图五 c 通过样品台控制器将样品移到合适的位置，如图五所示： 当2 号操纵杆上下移动，控制样品台的上下移动。 当2 号操纵杆左右移动，控制样品台的左右倾斜。 当1 号操纵杆上下左右移动，控制样品台前后左右(X Y axis)移动。 当旋拧1 号操纵杆，控制样品台顺时或逆时旋转。 当按3 号按钮，样品台紧急停止。 （2 ）选择合适的ETH、光阑和探头 图六 a 选择加速电压（EHT），如图六为SEM Control: Gun 面板，在EHT target 中输入设定的加速 电压数值，在Beam State 的下拉菜单中选择EHT on。不同加速电压的适用范围如下表： 样品成像或成分分析 加速电压EHT （kV） 说明 低原子序数样品 5~10 动植物、塑料、橡胶、食品、化工材料 （C、H、O、N 之类） 等，易受电子束损伤。 中等以上原子序数样品 10~20 金