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G5U-PH 产品技术说明 上海乾曜光学科技有限公司 一、仪器规格参数 G5U-PH 激光干涉仪是 G10U-PH 的高分辨率升级版，为 3D 屏及全 面屏摄像孔检测而定制，可以满足更大的透过波前 PV 值的测量。 仪器规格参数表 硬件部分： 产品型号 G5U-PH 产品名称 5mm 正立式激光干涉仪 测试口径 Φ5mm 辅助对准口径 Φ30mm 标准镜面形精度 λ/20 光源 进口 He-Ne 激光器（632.8nm) 光路切换 辅助观察（Φ30mm 大视场）与测试（Φ5mm 小视场） 模式电控切换 电源 AC220V50HZ 软件部分： 软件名称 移相算法（简称 PH） 分析项目 透过波前 PV 值、平行度 Tilt 值等 测试重复性 PV：0.01λ RMS:0.003λ 测试允许误差 PV1λ 时 PV：0.05λ Tilt ：0.2fr （零场调整为1 根条纹） 1λPV2λ 时 PV：0.1λ Tilt ：0.5fr （零场调整为1 根条纹） 2λPV3λ 时 PV：0.2λ Tilt ：1fr （零场调整为1 根条纹） 测试时间 1.5~2 秒 1 二、仪器特点 1、可满足超大像差的检测 随着手机行业的发展，3D 屏及全面屏的摄像孔开始无限靠近弧 边，相应的，透过波前的 PV 值也远大于之前的 2D 及 2.5D 屏。尤其 是摄像孔边缘区域（贴近弧边）的干涉条纹会非常密集，超出 G10U-PH 激光干涉仪的分辨极限，导致无法准确测量。 G10U-PH 的高分辨率升级版，型号G5U-PH 便针对该特殊需求而设 计，可以对超大像差实现准确分辨及测试。 相同摄像孔在 G5U 及 G10U 干涉仪图像对比 最大可准确测量的像差，G5U-PH 相对于 G10U-PH 的升级见下表： G10U-PH G5U-PH Tilt 10λ （20fr ） 20λ （40fr ） PV （背景零场测试值） 1.5λ 3λ 注：Tilt 数值对应平行度，PV （背景零场测试值）为背景调整 为零条纹时，直接测量所得的 PV 值。 2 2、空腔调整零场精度高 在测试摄像小孔区域的平行度时，需要预先把空腔调整至接近零 条纹。当测试口径为Φ5mm 时，由于观察视场非常小，调整零条纹的 精度较低。为此，G5U-PH 干涉仪引入辅助观察模式，可以在Φ30mm 的大视场下调节空腔的零场，保证零场调节精