GB/T 28654-2018工业三氯氢硅.pdf

ICS71.060.99 G 14 中华人 民共和 国国家标准 / — GBT28654 2018 代替 / — GBT28654 2012 工 业 三 氯 氢 硅 Trichlorosilaneforindustrialuse 2018-06-07发布 2019-01-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — GBT28654 2018 前 言 本标准按照 / — 给出的规则起草。 GBT1.1 2009 / — 《 》, / — , 本标准代替 GBT28654 2012工业三氯氢硅 与 GBT28654 2012相比 除编辑性修改外主 要技术变化如下: ——— ( , ); 修改了规范性引用文件中所列的标准 见第 章 年版的第 章 2 2012 2 ——— 、 、 , 、 、( 、 、 、 ) 、 修改了三氯氢硅 二氯二氢硅 四氯化硅的部分指标要求 增加了铝 磷 铁 铬 铜 锌 总量 ( 、 、 ) 、 , ( , ); 硼 鎵 铟 总量 总碳的指标 删除了硼的指标 见 5.22012年版的5.2 ——— , ( ); 删除了试验方法中的警告内容 与标准开始的警示内容合并 见 2012年版的6.1 ——— ( ); 删除了试验方法中的一般规定 见 2012年版的6.2 ——— ( ) ( 删除了电感耦合等离子体质谱法 ICP-MS测定工业三氯氢硅中的硼含量 见 2012年版的 6.4.2); ——— 、 、 、 、 、 、 、 、 ( ); 增加了铝 磷 铁 铬 铜 锌 硼 镓 铟含量的测定方法 见 6.3 ——— ( ) ( ); 增加了总碳 以 计 的测定方法 见 C