2PERC电池工艺基础知识介绍课件.ppt

太阳能电池原理基础 半导体基本原理—晶体结构与能带理论 晶体、准晶体与非晶体 导体、半导体与绝缘体 价带、导带与禁带 直接带隙与间接带隙半导体 * 太阳能电池原理基础 光生伏特效应与pn结 PN结的形成与作用 光吸收：光激发电子的过程 半导体中最重要的光吸收过程是将电子从价带激发到导带，并在价带中留下空穴的过程，称为本征吸收。 * 太阳能电池原理基础 晶体硅太阳能电池的极限效率和损失 晶体硅太阳能电池的极限效率？ * 太阳能电池原理基础 晶体硅太阳能电池的极限效率和损失 短路电流损失： 面积——栅线的阻挡面积 反射——表面反射的光损失 透过损失——厚度的减薄导致的吸收损失 复合电流——体内和表面的复合电流损失 开压损失 复合损失——非平衡载流子的复合导致的势能损失 转换效率的计算公式： Eff=Isc*Voc*FF/Pin 钝化：减少表面缺陷引起的非平衡载流子的损失 * PERC电池结构 PERC (Passivated Emitter and Rear Cell) PERC 电池优势 升级方便：在传统电池工艺基础上增加两个工序即可升级； 电池效率提升明显：多晶1.0%-1.2%；单晶1.2%-1.5%。 * PERC电池结构 PERC 电池工艺流程 * 氧化铝的作用 PERC (Passivated Emitter and Rear Cell)：发射极及背表面钝化的太阳能电池 P-type Solar Cell Wafer SiOx AlOx a-SiNx:H a-SiNx:H 正面 背面 1 2 3 4 背表面钝化：降低背表面缺陷态密度，降低背表面复合 提高背面内反射 * 氧化铝的作用 提高背面内反射率： PERC电池背面氧化铝和氮化硅膜可提升背面发射率，提升长波段光的二次吸收，硅片薄片化后该优势会更明显。 * 氧化铝的作用 降低背面表面复合 PERC电池背面较常规铝背场结构减少了背面金属接触面积，另一方面氧化铝可以有效的钝化表面缺陷，降低表面态密度，从而降低背表面的复合。 * 氧化铝设备及工艺介绍 氧化铝的成膜方式 * * .. * .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. PERC电池工艺基础 CC6电池工艺部-2018.07 目录 * * .. * .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. .. ..