激光外差探测系统的研究-（毕业论文设计）.doc

l l 目 录 TOC \o 1-3 \h \u HYPERLINK \l _Toc22235 1 引言 PAGEREF _Toc22235 1 HYPERLINK \l _Toc12389 1.1 课题研究的背景及意义 PAGEREF _Toc12389 1 HYPERLINK \l _Toc6036 1.1.1激光测量方法 PAGEREF _Toc6036 1 HYPERLINK \l _Toc20045 1.1.2 激光测量分类 PAGEREF _Toc20045 1 HYPERLINK \l _Toc20035 1.1.3 激光测试的特点 PAGEREF _Toc20035 2 HYPERLINK \l _Toc26418 1.1.4 激光测试的应用领域 PAGEREF _Toc26418 2 HYPERLINK \l _Toc608 1.1.5 激光外差探测技术 PAGEREF _Toc608 3 HYPERLINK \l _Toc11668 1.1.6 激光外差干涉测量系统 PAGEREF _Toc11668 3 HYPERLINK \l _Toc27057 1.1.7 激光外差干涉仪 PAGEREF _Toc27057 3 HYPERLINK \l _Toc8280 1.1.8 课题研究意义 PAGEREF _Toc8280 3 HYPERLINK \l _Toc3801 1.2 国内外研究状况 PAGEREF _Toc3801 4 HYPERLINK \l _Toc20901 1.3 本文主要研究内容 PAGEREF _Toc20901 4 HYPERLINK \l _Toc19780 2 外差原理 PAGEREF _Toc19780 5 HYPERLINK \l _Toc399 2.1 光外差原理 PAGEREF _Toc399 5 HYPERLINK \l _Toc21929 2.2 光外差探测的特性 PAGEREF _Toc21929 7 HYPERLINK \l _Toc4890 2.3 光外差探测的应用 PAGEREF _Toc4890 10 HYPERLINK \l _Toc18301 3 激光外差探测系统的特性研究 PAGEREF _Toc18301 16 HYPERLINK \l _Toc22112 3.1 激光外差信噪比的研究 PAGEREF _Toc22112 16 HYPERLINK \l _Toc3845 3.1.1 信噪比定义 PAGEREF _Toc3845 16 HYPERLINK \l _Toc14558 3.1.2 激光外差探测中的信噪比 PAGEREF _Toc14558 17 HYPERLINK \l _Toc29928 3.1.3 理论分析 PAGEREF _Toc29928 17 HYPERLINK \l _Toc13622 3.1.4 外差效率的数值模拟 PAGEREF _Toc13622 20 HYPERLINK \l _Toc29559 3.2 影响激光外差高精度计量的几个关键因素 PAGEREF _Toc29559 24 HYPERLINK \l _Toc26084 3.2.1 误差来源 PAGEREF _Toc26084 24 HYPERLINK \l _Toc18175 3.2.2 影响测量精度的几个重要因素 PAGEREF _Toc18175 25 HYPERLINK \l _Toc31416 3.2.3 确保测量精度的一些办法 PAGEREF _Toc31416 32 HYPERLINK \l _Toc6625 4 结论 PAGEREF _Toc6625 33 HYPERLINK \l _Toc3865 参考文献 PAGEREF _Toc3865 35 HYPERLINK \l _Toc29259 致 谢 PAGEREF _Toc29259 37 l 1 引言 1.1 课题研究的背景及意义 1.1.1激光测量方法 激光的亮度，高相干性和高准直性，使光学检测方法产生革命性的变化，并有可能对过去不能测量对象进行测量。提高了测量精度，已达（）量级，并使测量智能化。 国际上倾向性的看法是：激光测量是一门综合性实用技术，能记录、分析激光与被研究对象相互作用而发生变化的光波场参数，以便测出被研究对象的动力学参数，声学参数，重力场参数，热力学参数，电磁学参数，光学参数和微观信息等。即可用激光检测的方法探测、声、光、热、电磁、力学等物理参数，长度、角度、表面光洁度等几何参数以及化学参数。 1.1.2 激