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4)显影 B、曝光灯(功率5KW) 关键控制: 显影压力:15-30PSI 显影速度:3.5-4.0m/min 药水浓度:0.8-1.2% 药水温度:28-32℃ 显影点:45%-55% 测试项目:显影点 外层线路: 图形显影机 * 图形电镀:利用电化学原理,在露铜的板面及孔内镀上一定厚度 的金属(铜、锡、镍、金),使层间达到可靠互连的 同时,并具有抗蚀或可焊接、耐磨等特点。 待电镀板 已电镀板 电镀生产线 * 图形电镀(电铜锡) 作用:在完成图形转移的线 路板上电镀铜,以达 到客户所要求的孔壁 或板面铜厚度(通常 经过板电后其铜厚还 没有达到客户要求), 电镀锡是为了在蚀刻 时保护所需线路(抗 蚀刻)。 * 图形电镀: 关键设备:电铜锡线 关键物料:铜球(¢28mm)、纯锡球 25mm)、纯锡条、电镀铜、 锡光剂 关键控制:电流参数(铜10-23ASF,锡 10-13ASF)、电震强度/频率、 摇摆频率、打气大小及均匀 性 测试项目:电镀均匀性COV≤10% 深镀能力≥70% 孔铜厚(≥20um) 延展性(≥15%) * 外层蚀刻 将已经完成图形电镀铜锡板通过退膜、蚀刻、退锡三段加工方法最终完成线路图形制作。 蚀刻板 退锡板 待退膜板 * 外层蚀刻 将已经完成图形电镀铜锡板通过退膜、蚀刻、退锡三段加工方法最终完成线路图形制作。 蚀刻板 退锡板 待退膜板 * 1)退膜 作用:使抗镀膜(干膜)溶解在 碱液中,并且使之与铜层 的结合力变差并彻底的退 除干净、露出新鲜的Cu面 以便于蚀刻。 关键设备:退膜机 关键物料:NaOH 关键控制:退膜喷淋压力、药 水浓度 测试项目:溶锡量,退膜速度 退膜机 * 2)蚀刻 作用:利用蚀刻液与铜层反应,蚀 去线路板上不需要的铜,得 到所要求的图形线路。 关键设备:蚀刻机 关键物料:蚀刻子液 关键控制: 蚀刻压力:上喷3.0kg/cm2 下喷kg1.1/cm2 药水温度:48-52℃ 自动添加控制器:比重、PH值 测试项目:蚀刻均匀性:COV ≥ 92%,蚀刻因子:≥1.8。 蚀刻机 * 3) 除钯的作用: 通过硫脲(CH4N2S) 的喷淋清洗把NPTH孔 壁上PTH时残留的钯毒 化反应,使其失去催 化反应能力,避免在 后续ENIG时产生NPTH 孔上金的缺陷(只针 对沉金板,其它表面 处理不须过此药水段)。 除钯退锡线 * 4)退锡 作用:将蚀刻干净的生产板板面及 孔内的锡退镀干净,露出新 鲜的镀铜层。 关键设备:退锡机 关键物料:退锡子液 关键控制: 退锡压力:上喷2.0kg/cm2 下喷2.0kg/cm2 药水温度:30℃ 测试项目:蚀铜量≤0.5um, 比重≥1.4。 除钯退锡线 * 5)蚀检(目检/AOI) 作用: 蚀刻后的板主要检查线 条/孔内/板面/板材等品 质状况,找出缺陷点修 理或报废。 关键控制:线宽/线距要求,孔 内有无异常, 板面 有无残铜/蚀刻不 净等。 目检作业 * 防焊制作: * 待防焊板 防焊显影后板 防焊完成板 防焊制作: 1、定义:阻焊膜是一种保护膜,可防
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