面向瓶颈的半导体晶圆制造系统派工策略跟参数优化.pdf

　第 4 1 卷 第 8 期 上 海 交 通 大 学 学 报 Vol . 4 1 No . 8 　 　2007 年 8 月 J OU RN AL O F SHAN GHA I J IAO TON G UN IV ER SIT Y Aug . 2007 　 　　文章编号 (2007) 面 向 瓶 颈 的 半 导 体 晶 圆 制 造 系 统 派 工 策 略 及 参 数 优 化 张 　怀 , 　江志斌 , 　郭乘涛 (上海交通大学 工业工程与管理系 ,上海 200240) 摘 　要 : 针对半导体晶圆制造系统中瓶颈设备动态漂移的特性 ,提出一种动态瓶颈实时派工策略. 它是根据瓶颈机台的实时信息做出决策 ,决策参数通过响应曲面法和期望函数法确定并优化. 实例 验证表明 ,该算法相对于其他两种派工策略 ,在产能、加工周期 、方差和制品数量等 4 个指标上均有 所改善. 关键词 : 派工策略 ; 响应曲面法 ; 期望函数 ; 半导体晶圆制造系统 中图分类号 : TP 39 1. 9 　　　文献标识码 : A The BottleneckOrient e d Di sp at ching Strat e gy and Par amet er Optimization in Semiconductor Wafer Fabrication Sy st em Z H A N G H uai , 　J I A N G Z hibi n , 　GUO Chengt ao ( Dep t . of Indu st rial Eng . Management , Shan ghai J iaotong U niv . , Shanghai 200240 , China) Ab stract : Accor din g to t he charact eri stic s of dynamic bot t leneck in semico nductor wafer f abricatio n sy st em ( SW F S) , a dynamic bot t leneck realtime di sp at chin g (DB RD) st rat egy wa s p rop o sed . The DB RD make s deci sio n accor din g to t he realtime infor mation , an d t he deci sion p aramet er s are det er mined and op timized by u sin g re sp on se surf ace met ho d and de sirabilit y f unction app roach . The simulation re sult s p rove t hat t he p rop o sed DB RD st rat egy i s sup erior to ot her t wo st rat egie s on t he mean and variance of cycle time , wor k in p roce ss and t hroughp ut . Key word s : di sp at chin g st rat egy ; re spon se surf ace met ho d ( R SM ) ; de sirabilit y f unction ; semiconductor waf er f abrication sy st em ( SW F S) 　　半导体芯片制造分为晶圆制造 、针测 、装配与封 一[