《晶体硅扩散工艺的研究》-毕业论文.doc

江西渝州科技职业学院光伏专业（专科）毕业论文 PAGE 1 PAGE 1 江西渝州科技学院 光伏专业(专科)毕业论文 论文题目 晶体硅太阳能电池扩散工艺研究 学 院:新能源工程学院 专 业:光伏材料加工与应用 班 级:09级光伏（12）班 姓 名: 　 指导老师: 完成日期: 2011-10-10 2011年 10月 目 录 TOC \o 1-3 \h \z \u HYPERLINK \l _Toc276312010 摘 要………………………………………………………………………………………………………………………………..………2 HYPERLINK \l _Toc276312011 第一章 绪 论…………………………………………………………………………………………………………………..…….2 HYPERLINK \l _Toc276312012 1.1太阳电池的应用领域……………………………………………………………………2 HYPERLINK \l _Toc276312013 1.2晶体硅太阳电池研究与发展 3 HYPERLINK \l _Toc276312014 1.3本论文研究内容与研究意义 4 HYPERLINK \l _Toc276312015 第二章 晶体硅太阳电池的基本原理和制造工艺流程 5 HYPERLINK \l _Toc276312016 2.1晶体硅太阳电池的器件结构 5 HYPERLINK \l _Toc276312018 2.2硅PN结太阳电池的基本工作原理 9 2.2.1光生伏特效应……9 2.2.2 I-V特性.……11 HYPERLINK \l _Toc276312019 第三章 扩散制作PN结与电极制作 PAGEREF _Toc276312019 \h 13 HYPERLINK \l _Toc276312020 3.1扩散制作PN结…………………………………………………………………………………………………………… PAGEREF _Toc276312020 \h 13 3.1.1扩散的工艺原理……17 HYPERLINK \l _Toc276312021 3.1.2扩散参数的控制….………………………………………………………………………………………….…17 HYPERLINK \l _Toc276312024 3.2太阳电池的顶电极的设计 18 3.3电极的制备…………………………………………………………….…………………………………………………...19 3.3.1欧姆接触19 3.3.2晶体硅太阳电池的收集电极……20 3.3.3电极的制备工艺……21 HYPERLINK \l _Toc276312026 第四章 晶体硅太阳电池的扩散工艺研究 PAGEREF _Toc276312026 \h 22 4.1 HYPERLINK \l _Toc276312027 扩散均匀性因素 PAGEREF _Toc276312027 \h 23 HYPERLINK \l _Toc276312028 4.2工艺气体流量对炉内温度的影响 PAGEREF _Toc276312028 \h 24 4.3废气排放位置对炉口均匀性的影响24 HYPERLINK \l _Toc276312029 4.4排风量大小对炉口均匀性的影响………………………………………………………………..…………... PAGEREF _Toc276312029 \h 25 4.5硅太阳电池所用的源扩散方法………………………………………………………… HYPERLINK \l _Toc276312030 ………….…… PAGEREF _Toc276312030 \h 26 HYPERLINK \l _Toc276312032 第五章 结论 29 HYPERLINK \l _Toc276312033 致 谢 30 HYPERLINK \l _Toc276312034 参考文献…………………………………………………………………………………………………………………………………..31 摘 要 为了降低晶体硅太阳电池的制造成本，本文通过研究晶体硅太阳电池的扩散工艺，优化扩散工艺的均匀性，提高其转换效率。该方法改善了太阳电池的性能并对产业化生产起到了指导作用。 关键词：晶体硅硅太阳电池；扩散；均匀性；转换效率  第一章 绪 论 能源是人类社会赖以生存的物质基础，是经济和社会发展的重要资源。长期以来，