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单站式激光跟踪坐标测量系统研究-仪器科学与技术;测试计量技术及仪器专业论文
独创性声明
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书而使用过的材料。与我一同工作的同志对本研究所做的任何贡献均已在论文中 作了明确的说明并表示了谢意。
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摘 要
单站式激光跟踪系统是一种测量精度高、测量范围大的三坐标测量系统。本 文对系统的建模、‘鸟巢’坐标标定、误差分析和补偿、伺服控制等关键技术进 行了研究。建成了一套具有测量功能的单站式激光跟踪仪,为开发具有自主知识 产权的大范围、高精度跟踪测量产品奠定了基础。所做工作总结为以下几个方面:
搭建了回转精度高、机械结构误差小的激光跟踪系统。提出了根据反射光轨 迹调节跟踪转镜位置误差和光线对准误差的方法。以 DSP 芯片为控制核心,搭 建了直流电机的数字化伺服控制平台,并编写了便于调试的上位机软件。为研究 单站式激光跟踪系统的关键技术创造了条件。
建立了只包含两个未知参数的系统数学模型,仿真验证了模型的正确性。 创立了采用约束球面标定‘鸟巢’坐标的原理。克服了现有的直线约束标定
法和平面约束标定法原始误差大、误差传递系数高、抗噪性能差、收敛域较窄的 缺点。
设计了采用三坐标测量机和 Renishaw QC20-W 球杆仪对‘鸟巢’坐标进行球 面约束标定的实验装置。实验结果表明球面约束标定法比直线约束标定法和平面 约束标定法标定精度更高。
分析了单站式激光跟踪系统的各项误差源并提出了误差补偿方案。建立了包 含回转轴线异面距离和镜面安装偏心的标定模型和误差补偿模型。对误差补偿方 法进行了仿真和实验。实验结果表明,误差补偿后系统的测量精度提高了 38%。
推导了激光跟踪系统的位置敏感元件对目标镜位移的运动感知数学模型,实
现了跟踪系统两回转轴跟踪量的解耦。 在复合控制的基础上,为控制系统的位置环添加模糊调节器,建立了综合控
制器。实验结果表明综合控制器使系统跟踪目标时的脱靶量相对于复合控制器减 小了 80%,跟踪速度提高了 35%。
对本文所建立的跟踪控制系统进行了跟踪范围测试实验、重复性精度检测实
验、单轴测量精度检测实验、综合测量实验以及不同目标镜的光程差检测实验。 实验结果表明,跟踪系统能够在 3.2m 的范围内对以高达 0.5m/s 速度运行的目标 实现跟踪测量。与双频激光干涉仪的对比测长实验表明,系统在 3.2m 内的测量 误差为±8.5μm。
关键词: 便携式三坐标 激光跟踪 控制工程 球面约束标定 误差补偿
ABSTRACT
Standalone Laser Tracking System (LTS) is a kind of coordinate measuring machine which possesses high precision and large measuring range up to more than 100 meters. This dissertation focuses on researching key technologies of standalone LTS including system modeling, parameter calibration, error analysis and compensation, high performance servo controller etc. Main findings of the dissertation can be summed as following:
A standalone LTS with precise rotation shafts and accurate mechanical structure is produced. A method for adjusting the laser path and tracking mirror’s position according to the trace of reflected light is developed. A digital servo platform taking DSP as
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