平面相移干涉仪征求意见稿编制说明.doc

《平面相移干涉仪》（征求意见稿） 编制说明 一、工作概况 1．任务来源 本项目任务来源于：工业和信息化部的工信厅科 [2017]70号《关于印发工业和信息化部2017年第二批行业标准制修订计划的通知》，本项目在该文件中的计划号为HYPERLINK 41:8080/program/publicity/JBCPXaspx2017-0507T-JB。 2．主要工作过程 起草阶段：本标准制订工作，由全国 HYPERLINK /sort/chsortdetail/N.html \l N30/39 \t _blank 光学和光子学标准化技术委员会（以下简称光标委）组织成立了《平面相移干涉仪》起草工作组（以下简称工作组）。工作组通过对国内平面相移干涉仪产品调研，和国外同类产品资料的分析研究，参考了相关的行业标准、国家计量技术规范和生产相关产品的企业标准，并顾及到产品的技术发展趋势，起草了标准草案。该草案经产品相关企业论证，并提出修改意见。经工作组数次充分讨论、修改和完善，于2017年7月形成了本标准征求意见稿。 3．主要参加单位和工作组成员及其所做的工作等 本标准主要参加单位：上海光学仪器研究所、苏州慧利仪器有限责任公司、贵阳新天光电科技有限公司、宁波永新光学股份有限公司、宁波湛京光学仪器有限公司、广州粤显光学仪器有限责任公司、南京江南永新光学有限公司、宁波舜宇仪器有限公司、南京东利来光电实业有限公司、宁波市教学仪器有限公司、梧州奥卡光学仪器公司、麦克奥迪实业集团公司、宁波华光精密仪器有限公司、重庆奥特光学仪器有限责任公司。 工作组成员：冯琼辉、韩 森、胡 清。 所做的工作：冯琼辉——负责标准的策划和审稿工作，并负责组织试验验证； 韩 森 ——承担主要技术内容的收集、整理和提供； 胡 清 ——执笔编写标准。 二、标准的制定原则和主要内容 1．标准的制定原则 1）面向市场。标准所涉及的产品基本参数和技术要求，在合理的前提下，尽量贴近目前国内产品现状。 2) 服务产业。产品技术要求和检验方法应确保产品质量，尽量采用产品生产企业和有关质检部门应用的成熟技术。由于平面相移干涉仪是国内外新出现的仪器，本标准为首次制订，因此所涉及产品名称、各部件名称和技术参数等用语，应力求完整、准确、规范并能被业内理解和接受。 3）重点突出。产品基本参数和技术要求应突出其性能指标，检验方法应注重实用和可操作性，避免冗长的设计和原理表述及公式推导。 4）标准的结构和内容编排等方面，应依据GB/T 1.1-2009《标准化工作导则 第1部分：标准的结构和编写》进行编写。 2、标准主要内容 本标准规定了平面相移干涉仪的术语和定义、型式及基本参数、要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输及贮存。 产品基本参数的选项，参照了其它相关光学仪器标准，并顾及到数字图像产品的特点。 标准平面镜的面形偏差是产品的关键技术要求，本标准既考虑到产品的一般应用，规定了标准平面镜的面形偏差PV≤λ/20，又考虑到高精度平面的测量，规定了标准平面镜面形偏差的测量不确定度U≤λ/100（k=3），以满足高端用户的特殊需求；并规定了以直接比较法和三面互检法进行检验。标准结合产品特有的相移功能，提出了对相移量误差的技术要求，并制订了切实可行的检验方法。 三、主要试验（或验证）情况 试验验证正在进行中。 四、标准涉及专利的情况 本标准不涉及专利问题。 五、预期达到的社会效益，对产业发展的作用等情况 干涉仪在测量领域的应用，具有悠久的历史。由于其分辨率高和易于实现，从牛顿时代一直延用至今。检验平面的面形偏差或平面度的传统方法，是采用平晶看光圈，或使用平面等厚干涉仪和平面等倾干涉仪，通过目视估计或借助目镜测微器对干涉条纹进行测量（图1）。 由于条纹的灰度是渐变的，难于准确瞄准，测量误差大；而且，一次只能测量平面的一个截面上的几个点，不能反映面形的全貌，峰值很可能被漏测，并且测量效率极低。随着光学和精密机械产品对平面制造精度要求的日益提高，传统的平面干涉仪，早已不能满足平面测量精度和效率的需求。 图1 平面相移干涉仪采用CCD摄像机接收整个平面的干涉图（图2），利用压电陶瓷微位移机构使干涉条纹产生相位移动，再通过软件计算，得到被检平面的面形偏差，采样点可达数十万个，不仅测量精度高，而且具有极高的测量效率。平面相移干涉仪的出现，不仅实现了干涉测量技术的更新换代，而且填补了制造业和国家质检部门对高精度平面检测设备需求的空白。 图2 本项目将这项新技术以产品标准的形式公之于众，对该产品的应用起到推广和宣传作用，使更多的企业和部门应用该技术解决平面检测问题，改变我国