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带空气轴承的PIglideLC线性平台 价格便宜的高性能纳米级定位平台 A-110  扫描应用的完美选择或精密定位  无尘室兼容  运动平台的尺寸160毫米×200 毫米  行程达400 毫米  负载容量达100 牛 产品概述 PIglide定位系统具有一个磁性线性电机、磁性预载空气轴承和一个光学线性编码器：非接触式无摩擦运动实现最佳精 度和可靠性 附件和可选配件  编码器  PIglide过滤器和空气预处理器  单轴和多轴运动控制器  XY装置和个性化配置  花岗岩底座板和隔振系统 应用领域 PIglide定位系统非常适用于高精度应用，诸如半导体或平板显示器制造中的计量、光子学和精密扫描。 由于运动无摩擦，不会形成颗粒，PIglide平台非常适用于无尘室应用。 15.08.2018 规格 运动 A-110.050xx A-110.100xx A-110.200xx A-110.300xx A-110.400xx 单位 公差 主动轴 X X X X X 行程 50 100 200 300 400 毫米 (1) 螺距/偏转角 15 15 20 30 40 微弧度 最大 直线度/ (1) 0.5 0.5 1 1 1.5 微米 最大 平面度 每10毫米 ±10 ±10 ±10 ±10 ±10 纳米 最大 (1) 行程的直线度/平面度 (2) 速度，空载 0.5 0.5 1 1 1 米/秒 最大 (2) 米/平方 加速度，空载 10 10 30 30 30 最大