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西安交通大学 宋忠孝 氢燃料电池金属双极板高性能涂层研究
纳米薄膜研究团队
氢燃料电池金属双极板高性能涂层研究
宋忠孝
西安交通大学
金属材料强度国家重点实验室
纳米薄膜研究团队
报告内容
一 、课题组介绍
二 、金属双极板功能特点
三 、金属双极板涂层研究
四、金属双极板涂层未来方向
纳米薄膜研究团队
一、课题组介绍
微电子和器件薄膜 耐磨防腐涂层
纳米薄膜研究团队
研究平台——低维单晶材料制备的分子束外延(MBE)
纳米尺度应变分布表征
7 ×7 Graphene
原位分析应变演化行为
RHEED
2.0nm 1.0nm 高精度监控单晶体质量
变温STM/AFM
(2.5K-300K)
Knudsen-cell
E-Beam (Tmax=3000℃) AFM和Raman集联
纳米薄膜研究团队
研究平台——多晶薄膜制备及原位检测(PVD)
薄膜制备+热电循环+应力
测试+俄歇+XPS
热场+ 电场+力场
申请国家发明专利1项 表征抗电迁移能力
纳米薄膜研究团队
研究平台——超薄超平整保形原子层沉积(ALD )
三维TSV互连结构
主要应用
High-k/Metal栅极
纳米薄膜研究团队
低温气相沉积技术
塑料产品表面涂层
非平衡磁控溅射设备
纳米薄膜研究团队
获得应用
压铸铝合金
模具镶块及
型芯
效果 涂层前 涂层后
不粘铝次数 300 1300
铝合金手机 使用寿命 1万次左右 4万次
配件压铸铝
合金模具
涂层后,明显改善
发动机缸体
了整体的脱膜性和 压铸铝合金模具
抗热疲劳性、浇铸
口的热冲蚀、龟裂
效果
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