西安交通大学 宋忠孝 氢燃料电池金属双极板高性能涂层研究.pdfVIP

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西安交通大学 宋忠孝 氢燃料电池金属双极板高性能涂层研究

纳米薄膜研究团队 氢燃料电池金属双极板高性能涂层研究 宋忠孝 西安交通大学 金属材料强度国家重点实验室 纳米薄膜研究团队 报告内容 一 、课题组介绍 二 、金属双极板功能特点 三 、金属双极板涂层研究 四、金属双极板涂层未来方向 纳米薄膜研究团队 一、课题组介绍 微电子和器件薄膜 耐磨防腐涂层 纳米薄膜研究团队 研究平台——低维单晶材料制备的分子束外延(MBE) 纳米尺度应变分布表征 7 ×7 Graphene 原位分析应变演化行为 RHEED 2.0nm 1.0nm 高精度监控单晶体质量 变温STM/AFM (2.5K-300K) Knudsen-cell E-Beam (Tmax=3000℃) AFM和Raman集联 纳米薄膜研究团队 研究平台——多晶薄膜制备及原位检测(PVD) 薄膜制备+热电循环+应力 测试+俄歇+XPS 热场+ 电场+力场 申请国家发明专利1项 表征抗电迁移能力 纳米薄膜研究团队 研究平台——超薄超平整保形原子层沉积(ALD ) 三维TSV互连结构 主要应用 High-k/Metal栅极 纳米薄膜研究团队 低温气相沉积技术 塑料产品表面涂层 非平衡磁控溅射设备 纳米薄膜研究团队 获得应用 压铸铝合金 模具镶块及 型芯 效果 涂层前 涂层后 不粘铝次数 300 1300 铝合金手机 使用寿命 1万次左右 4万次 配件压铸铝 合金模具 涂层后,明显改善 发动机缸体 了整体的脱膜性和 压铸铝合金模具 抗热疲劳性、浇铸 口的热冲蚀、龟裂 效果

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